半導(dǎo)體芯片技術(shù)飛速發(fā)展,，晶圓尺寸從3英寸逐步發(fā)展到12英寸,，制程工藝早已從原來的微米級提升到了納米級，對生產(chǎn)車間的凈化要求也是越來越高,，今天我們以EPC工程（總承包）集成服務(wù)商CEIDI西遞的某項(xiàng)目為例,，具體聊聊半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)車間凈化工程。

該芯片凈化車間所有建材均采用不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主,。由于車間主要用于5英寸,、6英寸芯片生產(chǎn)，所以采用隧道式布局,，生產(chǎn)設(shè)備橫跨潔凈生產(chǎn)區(qū)和設(shè)備維護(hù)區(qū),。光刻、腐蝕,、擴(kuò)散,、蒸發(fā)、表面純化等工藝流程上會出現(xiàn)往復(fù)交叉頻繁的情況,。在設(shè)計上要考慮到潔凈度對各工序均滿足生產(chǎn)要求,。這時候萬級、千級,、百級區(qū)域要根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝與產(chǎn)品負(fù)責(zé)人詳細(xì)調(diào)研對接,。

CEIDI西遞在人物流及工藝流程設(shè)計時特別注意避免機(jī)械設(shè)備的擺放突兀，以免塵埃細(xì)菌等在凈化車間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會過多,、時間過長,。所有進(jìn)出潔凈車間的人員必須穿配套防塵服，除了眼睛部位外,，均需與外界隔絕接觸,，經(jīng)風(fēng)淋室除塵才能進(jìn)入，日常通過物體必須經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋除掉表面粉塵才能進(jìn)入,。

潔凈車間空氣流動方向以由上往下為主,，采用大型鼓風(fēng)機(jī)，將經(jīng)濾網(wǎng)的空氣源源不絕地打入潔凈室中,，以保持內(nèi)部大于大氣壓的環(huán)境,，保粉塵只出不進(jìn)。為保持溫度與濕度的恒定,，用大型空調(diào)設(shè)備搭配鼓風(fēng)加壓系統(tǒng),，鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，冷氣空調(diào)也開多久,。暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局要點(diǎn)如下：

1,、潔凈度、溫濕度及其精度相同或相近的潔凈房間劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)，便于潔凈度和溫濕度的控制,。

2,、距離較近的潔凈房間劃為一個系統(tǒng)，減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉,。

3,、將4級、5級單向流和6級,、7級,、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。

4,、潔凈室不與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng),。

5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng),。

6,、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大,、有害物多,、噪聲大的房間單獨(dú)設(shè)計為一個系統(tǒng)。

7,、有劇毒和易燃易爆的甲,、乙類房間單獨(dú)設(shè)系統(tǒng)，而且為不回風(fēng)的直流系統(tǒng),。

晶圓制造,、晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試這些代表著半導(dǎo)體不同產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的生產(chǎn)車間工藝流程各異,，需要在滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下進(jìn)行合理的規(guī)劃設(shè)計,，依托豐富經(jīng)驗(yàn)的設(shè)計團(tuán)隊(duì)和施工隊(duì)伍，能少走彎路盡快達(dá)成建設(shè)目標(biāo),。潔凈工程EPC集成服務(wù)商CEIDI西遞,，人員資歷豐富，專業(yè)經(jīng)驗(yàn)充足,，能幫助企業(yè)構(gòu)建經(jīng)濟(jì),、實(shí)用、安全可靠的生產(chǎn)環(huán)境條件,，提高生產(chǎn)效率。