半導(dǎo)體工業(yè)是極精密的工業(yè),，集成電路制造的工廠投資金額巨大,，電路板上一顆顆小小的 IC 都有數(shù)百萬(wàn)顆甚至數(shù)千萬(wàn)顆的晶體管。 塵粒容易使芯片失效或可靠度降低 ,，所以半導(dǎo)體集成電路制造的過程必須在凈化車間內(nèi)進(jìn)行,。本文以EPC工程（總承包）集成服務(wù)商CEIDI西遞某項(xiàng)目為例，具體談?wù)劙雽?dǎo)體集成電路電子潔凈車間建設(shè)要點(diǎn)。

相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,，集成電路制造潔凈車間有面積大,、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn),。除此之外,，為了滿足半導(dǎo)體制造工藝的需求刨除上面所說的特點(diǎn)，還對(duì)振動(dòng),、ESD(靜電控制),、AMC(氣態(tài)分子級(jí)污染物)控制等專業(yè)技術(shù)內(nèi)容都有特殊的要求。CEIDI西遞總承包建設(shè)的該集成電路項(xiàng)目廠房建筑面積約4000平米,，為滿足集成電路產(chǎn)品的特殊生產(chǎn)屬性,，CEIDI西遞設(shè)計(jì)師按照半導(dǎo)體集成電路的集成度劃分生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)，不同的工序的空氣潔凈度等級(jí)依據(jù)將會(huì)污染的概率和對(duì)元器件的潛在故障確定劃分,。從節(jié)能角度出發(fā)，CEIDI西遞設(shè)計(jì)師會(huì)在潔凈廠房中把加工工藝核心區(qū)隔離,，在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級(jí)和環(huán)境控制規(guī)定(M度,、相對(duì)濕度、壓力),。送風(fēng)系統(tǒng)選用的是FFU系統(tǒng),。

FFU系統(tǒng)在靈活性、調(diào)控性,、可靠性,、氣密性、節(jié)能性與空間利用方面優(yōu)勢(shì)顯著,。就氣密性與空間利用方面來說,，集成電路無(wú)塵車間采用集中送風(fēng)系統(tǒng)及隧道系統(tǒng)，上靜壓箱與周圍環(huán)境的壓差很大,，極易發(fā)生空氣泄漏,，因此對(duì)上靜壓箱的氣密性要求很高，基本上不允許管線進(jìn)人,。而FFU系統(tǒng)的上靜壓箱相對(duì)于周圍環(huán)境只是微正壓,，上靜壓箱內(nèi)可以布置或穿越諸如排風(fēng)和排煙等管道，使空間得到合理利用,。

半導(dǎo)體集成電路電子潔凈車間的空壓氣體工程主要由以下系統(tǒng)組成：空氣流程系統(tǒng),、潤(rùn)滑油流程系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng),、安全保護(hù)系統(tǒng),、控制系統(tǒng)及電氣線路。螺桿式空壓機(jī)組主要有壓縮機(jī)、電動(dòng)機(jī),、空氣濾清器,、進(jìn)氣閥、油氣桶,、空氣冷卻器,、潤(rùn)滑油冷卻器壓力開關(guān)、單向閥,、儲(chǔ)氣罐,、壓力表、自動(dòng)排水器,、安全閥等設(shè)備部件,。另外在空壓機(jī)系統(tǒng)中大多配置冷干機(jī)和空氣干燥器。

因?yàn)檫^于干燥的廠房?jī)?nèi)極易產(chǎn)生靜電,，造成CMOS集成損壞,。一般來說，半導(dǎo)體集成電路廠房對(duì)靜電的控制格外重視,，必須保證室內(nèi)維持指定的溫濕度來避免靜電事故,。溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定),。這時(shí)可有效地消除靜電,，并使人也感覺舒適。

好的無(wú)塵車間設(shè)計(jì),，不僅能節(jié)約能源,，降低運(yùn)行成本，減少人力投入,，而且為生產(chǎn)提供了安全可靠的保障,。隨著集成電路制造技術(shù)的不斷升級(jí)，主流大型工廠已成熟地接入物聯(lián)網(wǎng),、5G,、人工智能等技術(shù)。如何在廠房潔凈工程建設(shè)的同時(shí)與這些智能化科技做完美銜接,，是許多行業(yè)外工裝公司的盲區(qū),。專注于潔凈工程領(lǐng)域的EPC集成服務(wù)商CEIDI西遞在集成電路無(wú)塵車間設(shè)計(jì)、施工和智能化,、節(jié)能創(chuàng)新方面一直不斷完善,，為企業(yè)生產(chǎn)提供保障。