微電子行業(yè)在國(guó)內(nèi)發(fā)展非常迅猛，由于微電子工業(yè)的生產(chǎn)特點(diǎn),，生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生出一些廢水,、廢氣，必須經(jīng)過(guò)特殊處理達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排放,，所以在設(shè)計(jì)裝修過(guò)程中相較于常規(guī)工廠裝修技術(shù)門檻會(huì)更高一些,，給排水和通排風(fēng)都需要依據(jù)一定的標(biāo)準(zhǔn)建設(shè)。另外,，微電子潔凈廠房的設(shè)計(jì)要考慮一定的靈活性,，以便產(chǎn)品換代時(shí)方便地進(jìn)行技術(shù)改造。本文以EPC工程（總承包）集成服務(wù)商CEIDI西遞的項(xiàng)目為例,，具體分析微電子潔凈車間的裝修設(shè)計(jì),。

以CEIDI西遞做的某微電子潔凈車間為例，該項(xiàng)目設(shè)計(jì)的核心光刻潔凈車間區(qū)域?yàn)?82m×30m的潔凈度：ISO Class6（1000 級(jí)）,。主要是根據(jù)光刻程序的生產(chǎn)工藝要求來(lái)設(shè)計(jì)其凈化內(nèi)容，譬如為滿足千級(jí)凈化標(biāo)準(zhǔn),，需要設(shè)計(jì)單向流的空調(diào)系統(tǒng)形式,，在此項(xiàng)目中，采用的是組合式空調(diào)機(jī)組（MAU 處理新風(fēng)）+干盤管（DCC處理回風(fēng)）+FFU（高效送風(fēng)口）空調(diào)系統(tǒng)形式,。

設(shè)計(jì)師進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),，主要從以下幾個(gè)方面來(lái)考慮：

1、壓差控制為了保證潔凈室在正常工作時(shí)或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí),，氣流都能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域,，使?jié)崈羰业臐崈舳炔粫?huì)受到污染空氣的干擾，所以潔凈室與周圍空間必須保持一定的壓差,?！稘崈魪S房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073-2001)中的規(guī)定"潔凈室與周圍的空間必須保持一定的壓差，并應(yīng)按生產(chǎn)工藝要求決定正壓差或負(fù)壓差,。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差,，應(yīng)不小于SPa,，潔凈區(qū)與室外的壓差，應(yīng)不小于lOPa,。

2,、送風(fēng)量的確定潔凈室的送風(fēng)量計(jì)算不同于一般的空調(diào)房間，因?yàn)榻?jīng)過(guò)濾處理送入潔凈室內(nèi)的清潔空氣除了要處理室內(nèi)的余熱,、余濕外,，還要排除、稀釋室內(nèi)的污染物,，以維持室內(nèi)的空氣潔凈度,。((潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》(GB50073-2001)規(guī)定"潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列三項(xiàng)中的最大值:為保證空氣潔凈度等級(jí)的送風(fēng)量;根據(jù)熱,、濕負(fù)荷計(jì)算確定的送風(fēng)量;向潔凈室內(nèi)供給的新鮮空氣量,。

設(shè)計(jì)潔凈車間的負(fù)荷主要以滿足工藝設(shè)備生產(chǎn)為主，工人工作環(huán)境舒適為輔準(zhǔn)則設(shè)計(jì),，在計(jì)算統(tǒng)計(jì)負(fù)荷量時(shí)以業(yè)主和設(shè)備廠家提供的參數(shù)為主,。在該項(xiàng)目中，潔凈車間冬,、夏季節(jié)負(fù)荷設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)如下：

夏季負(fù)荷

潔凈車間干盤管冷負(fù)荷 415kW,；空調(diào)箱新風(fēng)系統(tǒng)冷負(fù)荷 2353kW；空壓機(jī)冷負(fù)荷：350kW（業(yè)主提供）,；純水機(jī)房冷負(fù)荷 350kW（業(yè)主提供）,。

冬季負(fù)荷

冬季負(fù)荷：空調(diào)箱新風(fēng)系統(tǒng)負(fù)荷 1598kW。

除此之外,，在該工程的消防系統(tǒng)設(shè)計(jì)中,，依據(jù)上海的《建筑防排煙技術(shù)規(guī)程》標(biāo)準(zhǔn)，在潔凈車間所在區(qū)域劃分兩個(gè)防煙分區(qū),，設(shè)置了機(jī)械排煙系統(tǒng),。用新風(fēng)空調(diào)機(jī)組處理后的潔凈空氣作為消防補(bǔ)風(fēng)。在整個(gè)項(xiàng)目實(shí)施過(guò)程中,，設(shè)計(jì)人員只有對(duì)潔凈室內(nèi)工藝設(shè)備了解清楚,，配合工藝、建筑,、結(jié)構(gòu),、電氣以及給排水等各專業(yè)，才能做到設(shè)計(jì)合理,，做出滿足生產(chǎn)要求的項(xiàng)目工程,。EPC集成服務(wù)商CEIDI西遞擁有十幾年的經(jīng)驗(yàn)，綜合技術(shù)能力強(qiáng),，對(duì)潔凈廠房規(guī)范熟悉,，讓企業(yè)少走彎路,。