白光干涉對于環(huán)境防振要求高的原因，主要可以從其測量原理和應(yīng)用需求兩個方面來解釋,。

一、測量原理

白光干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器,。光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束,，一束光經(jīng)被測表面反射回來,，另一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,。兩束相干光間光程差的任何變化都會靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動,，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起的。因此,，任何微小的振動都可能引起光程差的變化,，從而導(dǎo)致干涉條紋的移動，進(jìn)而影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。

二,、應(yīng)用需求

白光干涉儀通常用于高精度測量，如半導(dǎo)體制造,、光學(xué)加工,、汽車零部件制造等領(lǐng)域。在這些領(lǐng)域中,，對測量結(jié)果的準(zhǔn)確性要求極高,，任何微小的誤差都可能對產(chǎn)品質(zhì)量和性能產(chǎn)生重大影響。因此,，為了確保測量結(jié)果的準(zhǔn)確性,，必須盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾。

綜上所述,，白光干涉對于環(huán)境防振要求高,，主要是因?yàn)槠錅y量原理敏感于光程差的變化，而環(huán)境振動會干擾光程差的穩(wěn)定性,，從而影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性,。同時，高精度測量的應(yīng)用需求也要求盡可能減少環(huán)境振動對測量過程的干擾,。因此,，在使用白光干涉儀進(jìn)行測量時，需要采取一系列措施來減少環(huán)境振動的影響,，如將儀器放置在穩(wěn)定的平臺上,、使用減震裝置等。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時”動態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題,，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描,，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù),，Z向測量范圍高達(dá)100mm,，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案,。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng),，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動態(tài)”3D輪廓測量,。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率,，輕松測量硅片表面粗糙度測量,，Ra=0.7nm

2，毫米級視野,，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3,，卓越的“高深寬比”測量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量,。