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從沙子到芯片,,圖解芯片生產(chǎn)全過程!

 EthanChou 2019-12-20

來源今日半導(dǎo)體

  知道嗎,?你手里拿的手機(jī),、辦公用的電腦、看的電視,,核心裝置就是芯片,。一顆芯片只有指甲蓋大小,上面卻有數(shù)公里的導(dǎo)線和幾千萬根晶體管,可謂世界上最精密的雕刻術(shù),。而如此精密的元件,,主要原料竟然是我們司空見慣的沙子。下面我們通過漫畫了解下,,從沙子到芯片的全過程,。

  硅熔煉:12英寸/300毫米晶圓級,下同,。通過多步凈化得到可用于半導(dǎo)體知道質(zhì)量的硅,,學(xué)名電子級硅(EGS),平均每一百萬個硅原子中最多只有一個雜質(zhì)原子,。此圖展示了是如何通過硅凈化熔煉得到大晶體的,,最后得到的就是硅錠(ingot)

  單晶硅錠:整體基本呈圓柱形,重約100千克,,硅純度 99.9999%,。

  晶圓:切割出的是晶圓經(jīng)過拋光后變得幾乎完美無瑕,,表面甚至可以當(dāng)鏡子。事實上,,intel自己并不生產(chǎn)這種晶圓,,而是從第三方半導(dǎo)體企業(yè)那里直接購買成品,然后利用直接的生產(chǎn)線進(jìn)一步加工,,比如現(xiàn)在主流的45nm HKMG(高K金屬柵極),。值得一提的是,intel公司創(chuàng)立之初使用的晶圓尺寸只有2英寸/50毫米

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第二階段):

   光刻:光刻膠層隨后透過掩模(Mask)被曝光在紫外線(UV)之下,,變得可溶,,期間發(fā)生的化學(xué)反應(yīng)類似按下機(jī)械相機(jī)快門那一刻膠片的變化。掩模上印著預(yù) 先設(shè)計好的電路圖案,,紫外線透過它照在光刻膠層上,,就會形成微處理器的每一層電路圖案。一般來說,,在晶圓上得到的電路圖案是掩模上圖案的四分之一。

  光刻:由此進(jìn)入納米尺寸的晶體管級別,。一塊晶圓上可以切割出數(shù)百個處理器,,不過從這里開始把視野縮小到其中一個上,展示如何制作晶體管等部件,。晶體管相當(dāng)于開關(guān),,控制著電流的方向。現(xiàn)在的晶體管已經(jīng)如此之小,,一個針頭上就能放下大約3000萬個,。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第三階段):

  蝕刻:使用化學(xué)物質(zhì)溶解掉暴露出來的晶圓部分,而剩下的光刻膠保護(hù)著不應(yīng)該蝕刻的部分,。

  清除光刻膠:蝕刻完成后,,光刻膠的使命宣告完成,全部清除后就可以看到設(shè)計好的電路圖案,。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第四階段):

  第五階段
  刻膠:再次澆上光刻膠(藍(lán)色部分),,然后光刻,并洗掉曝光的部分,,剩下的光刻膠還是用來保護(hù)不會離子注入的那部分材料,。

  離子注入(ion implantation):在真空系統(tǒng)中,用經(jīng)過加速的,,要摻雜的院子的離子照射(注入)固體材料,,從而在被注入的區(qū)域形成特殊的注入層,并改變這些區(qū)域的硅的導(dǎo)電性,。經(jīng)過電場加速后,,注入的離子流的速度可以超過30萬千米每小時,。

  清除光刻膠:離子注入完成后,光刻膠也被清除,,而注入?yún)^(qū)域(綠色部分)也已摻雜,,注入了不同的原子。注意這時候的綠色和之前已經(jīng)有所不同,。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第五階段):

  電鍍:在晶圓上電鍍一層硫酸銅,,將銅離子沉淀到晶體管上。銅離子會從正極(陽極)走向負(fù)極(陰極),。

  銅層:電鍍完成后,,銅離子沉積在晶圓表面,形成一個薄薄的銅層,。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第六階段):

  第七階段
  拋光:將多余的銅拋光掉,,也就是磨光晶圓表面。

  金屬層:晶體管級別,,留個晶體管的組合,,大約500納米。在不同晶體管之間形成復(fù)合互連金屬層,,具體布局取決于相應(yīng)處理器所需要的不同功能性,。芯片表面看起來異常平滑,但事實上可能包含20多層復(fù)雜的電路,,放大之后可以看到極其復(fù)雜的電路網(wǎng)絡(luò),,形如未來派的多層高速公路系統(tǒng)。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第七階段):

  第八階段
  晶圓測試:內(nèi)核級別,,大約10毫米/0.5英寸,。圖中是晶圓的局部,正在接受第一次功能性測試,,使用參考電路圖案和每一塊芯片進(jìn)行對比,。

  晶圓切片(Slicing):晶圓級別,300毫米/12英寸,。將晶圓切割成塊,,每一塊就是一個處理器的內(nèi)核(Die)。

  丟棄瑕疵內(nèi)核:晶圓級別,。測試過程中發(fā)現(xiàn)的有瑕疵的內(nèi)核被拋棄,,留下完好的準(zhǔn)備進(jìn)入下一步。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第八階段):

  第九階段
  單個內(nèi)核:內(nèi)核級別,。從晶圓上切割下來的單個內(nèi)核,,這里展示的是Core i7的核心。

  封裝:封裝級別,,20毫米/1英寸,。襯底(基片),、內(nèi)核、散熱片堆疊在一起,,就形成了我們看到的處理器的樣子,。襯底(綠色)相當(dāng)于一個底座,并為處理器內(nèi)核提供電氣與機(jī)械界面,,便于與PC系統(tǒng)的其它部分交互,。散熱片(銀色)就是負(fù)責(zé)內(nèi)核散熱的了。
  處理器:至此就得到完整的處理器了(這里是一顆Core i7),。這種在世界上最干凈的房間里制造出來的最復(fù)雜的產(chǎn)品實際上是經(jīng)過數(shù)百個步驟得來的,,這里只是展示了其中的一些關(guān)鍵步驟。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第九階段):

  第十階段
  等級測試:最后一次測試,,可以鑒別出每一顆處理器的關(guān)鍵特性,,比如最高頻率、功耗,、發(fā)熱量等,,并決定處理器的等級。

  裝箱:根據(jù)等級測試結(jié)果將同樣級別的處理器放在一起裝運,。

  零售包裝:制造,、測試完畢的處理器要么批量交付給OEM廠商,要么放在包裝盒里進(jìn)入零售市場,。

  下圖是這個階段的一個總結(jié)圖(第十階段):

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