日本產(chǎn)業(yè)技術綜合研究所（產(chǎn)綜研）開發(fā)出采用世界最小振動水平校正高靈敏度振動傳感器的系統(tǒng)。

該系統(tǒng)旨在提高人造衛(wèi)星傳感器的精度,，以滿足需要準確測量姿態(tài)控制和太陽能電池面板方向調(diào)整時產(chǎn)生的微小振動。

人造衛(wèi)星在比地面更安靜的環(huán)境中運行,，但其控制操作帶來的輕微振動也可能影響設備,，因此事先進行準確校準必不可少。以往的校準系統(tǒng)可在相當于火箭發(fā)射時的100m /s2左右的振動水平下進行校準,，但無法應對在接近人工衛(wèi)星運行環(huán)境的0.01 m/s2左右的微振動,。

新開發(fā)的系統(tǒng)可應對數(shù)Hz至6.3kHz的頻帶，實現(xiàn)了在1.4皮米這一全球最小的振幅下的校準,。特別是在6.3kHz下,，與以往的校正系統(tǒng)相比，成功將振動水平降低到了0.0022 m/s2,，相當于原來1/40000,。

該系統(tǒng)采用了①從噪聲中提取微信號的高級信號處理技術；②使從加振器產(chǎn)生的振動不傳到干涉儀的防振技術,；③高精度地自動調(diào)整激光照射位置的雙軸轉(zhuǎn)臺結構這三項創(chuàng)新技術,，由此大幅改善了信噪比，可在極其微小的振動水平下進行精密校準,。

另外,，還對測量值的不確定度進行了詳細評價，靈敏度和相移分別達到1.9%和0.76°的高精度,。該系統(tǒng)被用于三菱電機開發(fā)的人工衛(wèi)星上搭載的ETS-9傳感器的校正,，在接近實際軌道環(huán)境的條件下進行了評估。由此,，可在發(fā)射前準確地確認軌道上的測量值,，有助于提高傳感器的可靠性。

今后,，產(chǎn)綜研計劃進一步改進該技術,，特別是通過強化降噪技術，以應對更微小的振動,。此外,，該技術不僅適用于人造衛(wèi)星領域,，還有望應用于橋梁和大樓等基礎建筑的劣化檢測及產(chǎn)業(yè)機械的狀態(tài)監(jiān)測。

通過該技術,，有望在各個領域提高微振動測量技術的可靠性和廣泛的應用,。