世界各國均有自定規(guī)格,，但普遍依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Standard （FS） 209E, 1992】,，可將無塵室分為六級。分別是1級,、10級,、100級、1000級,、10000級,、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述,，則可假設(shè)塵粒的尺寸為0.5μm,，例如，1級,、10級,、100級無塵室最大塵粒數(shù)目分別小于或等于1顆、10顆,、100顆,，如果塵粒尺寸不是0.5μm,，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2μm（塵粒尺寸在0.2μm或更大下,，密度不大于75顆/立方英尺）,，1級在0.1μm（塵粒尺寸在0.1μm或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）,。

萬級凈化車間標(biāo)準(zhǔn)

萬級凈化車間的潔凈度：潔凈度10000級cleanliness class 10000（P2萬級實驗室即ISO7級）即大于等于0.5μm的塵粒數(shù)大于35000粒／m3 （35粒/L）到小于等于350000粒／m3（350粒／L）,；大于等于5μm的塵粒數(shù)大于300粒／m3（0.3粒/L）到小于等于3000粒／m3（3粒/L）。

壓差及溫濕度控制：

1）溫度：干盤管系統(tǒng)控制,。

2）濕度：空調(diào)箱調(diào)節(jié)通過感測的信號,，控制三通閥開度來調(diào)節(jié)空調(diào)箱盤管進水量。

3）正壓：空調(diào)箱調(diào)節(jié),，根據(jù)靜壓感測的信號,，自動調(diào)節(jié)空調(diào)箱馬達變頻器的頻率，從而調(diào)節(jié)進入室內(nèi)的新風(fēng)量,。

檢測標(biāo)準(zhǔn)：

氣流速度及其均勻度檢測,，是無塵室效果的其他各項檢測的前提，這項檢測的目的是為了明確單向流無塵室工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性,。

1）室內(nèi)潔凈度的檢測：潔凈度的檢測是為了確定潔凈環(huán)境可達到的空氣潔凈度級別,，可采用粒子計數(shù)器檢測。

2）自凈時間的檢測：通過確定自凈時間,，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時恢復(fù)其原有潔凈度的能力,。

3）照度的檢測：照度檢測的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。 4）振動的檢測：振動檢測的目的是為了判明無塵室各表明的振動幅度,。

5）溫,、濕度的檢測：溫、濕度檢測的目的是把溫度,、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力,。其內(nèi)容包括檢測無塵室的送風(fēng)溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度,，檢測無塵室中心點的空氣溫度,，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內(nèi)空氣相對溫度,，檢測回風(fēng)溫度,。