1）增量式數(shù)字流量閥如圖69所示。

步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)通過滾珠絲桿2轉(zhuǎn)化為軸向位移,，帶動(dòng)節(jié)流閥閥芯3移動(dòng),，控制閥口的開度,，從而實(shí)現(xiàn)流量調(diào)節(jié),。該閥的閥口由相對(duì)運(yùn)動(dòng)的閥芯3和閥套4組成，閥套上有兩個(gè)通流孔口,，左邊為全周開口,，右邊為非金周開口，閥芯移動(dòng)時(shí)先打開右邊的節(jié)流口,，得到較小的控制流量,；閥芯繼續(xù)移動(dòng)，則打開左邊閥口，流量增大,，這種結(jié)構(gòu)使閥的控制流量可達(dá) 3600L／min,。閥的液流流入方向?yàn)檩S向，流出方向與軸線垂直,，這樣可抵消一部分閥開口流量引起的液動(dòng)力,，并使結(jié)構(gòu)緊湊。連桿5的熱膨脹可起溫度補(bǔ)償作用,，減小溫度變化引起的流量不穩(wěn)定,。閥上的零位移傳感器6用于在每個(gè)控制周期終了時(shí)使控制閥芯回到零位，以保證每個(gè)工作周期有相同的起始位置,，提高閥的重復(fù)精度,。

 1步進(jìn)電動(dòng)機(jī)；2滾珠絲桿,；3節(jié)流閥閥芯,；4閥套；5連桿,；6零位移傳感器

2）先導(dǎo)型增量式數(shù)字溢流閥如圖70所示,。

液壓部分由兩節(jié)同心式主閥、錐閥式導(dǎo)閥組成,，閥中采用了三阻尼器（13,、15、16）液阻網(wǎng)絡(luò),，在實(shí)現(xiàn)壓力控制功能的同時(shí),，有利于提高主閥的穩(wěn)定性；該閥的電氣一機(jī)械轉(zhuǎn)換器為混合式步進(jìn)電動(dòng)機(jī)（57BYG450C型,，驅(qū)動(dòng)電壓36VDC,，相電流1.5A，脈沖速率0.1kHZ,，步距角0.9^o）,，步距角小，轉(zhuǎn)矩一頻率特性好并可斷電自定位,；采用凸輪機(jī)構(gòu)作為閥的機(jī)械轉(zhuǎn)換器,。

結(jié)合圖70（a）、（c）對(duì)其工作原理簡(jiǎn)要說明如下：?jiǎn)纹⑿退銠C(jī)（AT89C2051）發(fā)出需要的脈沖序列,，經(jīng)驅(qū)動(dòng)器放大后使步進(jìn)電動(dòng)機(jī)工作,，每個(gè)脈沖使步進(jìn)電動(dòng)機(jī)沿給定方向轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)固定的步距角，再通過凸輪3和調(diào)節(jié)桿6使轉(zhuǎn)角轉(zhuǎn)換為軸向位移,，使導(dǎo)閥中調(diào)節(jié)彈簧19獲得一壓縮量,，從而實(shí)現(xiàn)壓力調(diào)節(jié)和控制。被控壓力由LED顯示器顯示。每次控制開始及結(jié)束時(shí),，由零位傳感器22控制溢流閥閥芯回到零位,，以提高閥的重復(fù)精度，工作過程中,，可由復(fù)零開關(guān)復(fù)零,。該閥額定壓力16MPa，額定流量63L／min,，調(diào)壓范圍0.5～16MPa,，調(diào)壓當(dāng)量0.16MPa／脈沖，重復(fù)精度＜0.l％,。

1步進(jìn)電動(dòng)機(jī),；2支架；3凸輪,；4電動(dòng)機(jī)軸,；5蓋板；6調(diào)節(jié)桿,；7閥體,；8出油口T；9進(jìn)油口 P,； 10復(fù)位彈簧,；11主閥芯； 12遙控口K,；13,，15，16阻尼,；14閥套,；17導(dǎo)閥座；18導(dǎo)閥芯,；19調(diào)節(jié)彈簧,；20閥蓋；21彈簧座,；22零位傳感器

增量式電液數(shù)字方向流量閥是一種復(fù)合閥,，其方向與流量控制融為一體。若假設(shè)進(jìn)入液壓執(zhí)行器的流量為正,，流出流量為負(fù),，則執(zhí)行器換向意味著流量由正變?yōu)樨?fù)，反之亦然,。

3）帶壓力補(bǔ)償?shù)南葘?dǎo)式增量數(shù)字方向流量閥如圖71所示。

該閥的動(dòng)作原理可以看成是由擋板閥4控制的差動(dòng)活塞（主閥芯）缸。壓力為P的先導(dǎo)壓力油從X口進(jìn)入A₁腔,，經(jīng)節(jié)流孔（阻尼孔）2后降為Pc,，再?gòu)膿醢蹇p隙x。處流出,，平衡狀態(tài)時(shí)有A₁／A₂=P／Pc=1／2,。A2腔的壓力Pc受縫隙X?？刂?，擋板向前時(shí)，X₀減小,，Pc上升,，迫使主閥后退，直至再次滿足P／Pc= 1/2時(shí),，擋板4與噴嘴的恢復(fù)為平衡狀態(tài)時(shí)的X₀,，反之亦然?？梢娫撻y的動(dòng)作原理可以看成是由擋板閥控制主闊的位置伺服系統(tǒng),，執(zhí)行元件為主閥芯。主閥芯作跟隨移動(dòng)時(shí)切換控制油口的油路,，使壓力油從P口進(jìn)入,，流進(jìn)A或B，而A或B的油液就從T口排走,。由于步進(jìn)電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)的擋板單個(gè)脈沖的位移可以很?。?/span>10^-2mm級(jí)），因此主閥芯的位移也可以以這一微小增量變化,，實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的微小調(diào)節(jié),。為了使閥芯節(jié)流口前后壓差不受負(fù)載影響，保持恒定,，閥的內(nèi)部可以設(shè)有定差減壓閥或定差溢流閥,。圖71為沒有定差溢流閥的結(jié)構(gòu)，該閥是一個(gè)先導(dǎo)式定差溢流閥,，彈簧腔通過閥芯的內(nèi)部通道,，分別接通A口或B口，實(shí)現(xiàn)雙向進(jìn)口節(jié)流壓力補(bǔ)償,，例如,，擋板向左移動(dòng)時(shí)，主閥芯亦向左隨動(dòng),，油路切換成P口與B口相通,，A口與T口相通,，這時(shí)主閥芯內(nèi)的油道b使B口與溢流閥的彈簧控制腔相通，使P口與B口間的壓力差維持在彈簧所確定的水平內(nèi),，超出這個(gè)范圍時(shí),，閥芯右移，使P與T接通,，供油壓力下降,；以保持節(jié)流閥芯兩側(cè)壓差維持不變，補(bǔ)償負(fù)載變化時(shí)引起的流量變化,。閥芯的內(nèi)部通道a與b,，使能在兩個(gè)方向上選擇正確的壓力進(jìn)行反饋，保證補(bǔ)償器正常起作用,。