眾所周知，全球只有ASML和尼康兩家能夠制造浸潤式光刻機(jī),。而一家只有ASML一家能夠制造EUV光刻機(jī),。

為何造先進(jìn)光刻機(jī)的廠商這么少，原因有很多,，但非常有一個(gè)非常重要的原因,，那就是先進(jìn)光刻機(jī)的物鏡系統(tǒng)太難了，全球只有德國蔡司擁有這個(gè)技術(shù),。

比如浸潤式光刻機(jī)的物鏡系統(tǒng),，全球就只有蔡司能夠提供，尼康是因?yàn)榈玫搅瞬趟镜膸椭?，才能夠生產(chǎn)出浸潤式光刻機(jī),，而佳能沒有得到蔡司的元件，所以生產(chǎn)不出來,。

至于EUV光刻機(jī)中的物鏡系統(tǒng),，全球也只有蔡司一家能夠提供，但蔡司的這個(gè)系統(tǒng),，不能賣給除ASML之外的任何一家廠商,，所以全球也就只有ASML一家能夠生產(chǎn)出EUV光刻機(jī)。

那么蔡司的物鏡系統(tǒng),，究竟有多牛,？蔡司是光學(xué)巨頭，小到眼鏡鏡片,，大到醫(yī)學(xué)顯微系統(tǒng)，蔡司都有涉獵,，但光刻機(jī)這一塊,，有一家專門的半導(dǎo)體公司負(fù)責(zé)，叫做Zeiss SMT,。

在EUV光刻機(jī)中,，有兩套光學(xué)系統(tǒng)，一部分用于照明系統(tǒng),，一部分為投影光學(xué)系統(tǒng),。

照明系統(tǒng)是干什么的,？是極紫光線通過分面反射鏡，然后在光罩上提供合適的照明度,，別以為就是幾盞燈的事情,，這個(gè)物件高達(dá)1.5噸用，一共由1.5萬多個(gè)元件組成,。

而投影光學(xué)系統(tǒng)更復(fù)雜,，用到了六個(gè)超精密的反射鏡，可以實(shí)現(xiàn)nm級別的成像,，這套系統(tǒng)重量超過2噸,，一共由2萬多個(gè)元件組成。

由于為要實(shí)現(xiàn)nm的影像,，所以對反射鏡的要求非常高,，不能有絲毫的誤差。

在EUV光刻機(jī),，這套投影光學(xué)系統(tǒng)中,，用到的鏡面叫做“布拉格反射器”，也被稱之為“地球上最平整”的鏡面,。

究竟有多平,？這個(gè)反射器的直徑只有30厘米左右，但如果把它整體放大到整個(gè)云南省那么大,，最厚的介質(zhì)層也只有1毫米那么厚,。

ASML與蔡司不僅僅是合作關(guān)系，2016年的時(shí)候,，ASML出資10億歐元,，收購了蔡司半導(dǎo)體公司Zeiss SMT24.9%的股份，并承諾后續(xù)會持續(xù)投資,，支持蔡司在半導(dǎo)體方面的研發(fā),，雙方是綁定在一起的。

所以這也是為什么蔡司的物鏡系統(tǒng),，并不對外銷售的原因,，要是蔡司的物鏡系統(tǒng)能夠大規(guī)模對外銷售，估計(jì)全球也就不只ASML一家能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)了,。