芯片在我們生活中有多重要呢,?小到無(wú)線耳機(jī),、智能手機(jī),大到汽車火車,、飛機(jī)輪船,,再到冰箱、電視,、洗衣機(jī)等等都離不開(kāi)芯片,。 可以說(shuō),芯片已經(jīng)是我們生活中不可或缺的電子元器件了,。但是你能想想這么一款精密器件,,它居然是由沙子制成的嗎? 第一步,,硅提煉及提純芯片是由單質(zhì)硅制成的,,但自然界中并沒(méi)有天然的單質(zhì)硅,大都以硅的氧化物(二氧化硅,、SiO2)形態(tài)存在,,二氧化硅恰好是沙子的主要成分。 芯片所使用的沙子并非我們?nèi)粘T诤?、河道,、建筑工地等所?jiàn)的那種,因?yàn)檫@種沙子含有紅色、黃色,、橙色的雜質(zhì),,提純難度更大。 芯片使用的沙子叫硅砂,,這種沙子幾乎沒(méi)有其他的雜質(zhì),,就是純凈的二氧化硅。那么如何把二氧化硅變成單質(zhì)硅呢,? 工業(yè)上經(jīng)常用碳在高溫下還原二氧化硅,,然后制得含有少量雜質(zhì)的粗貴。 化學(xué)式:SiO2+2C==高溫==Si+2CO↑ 我們將二氧化硅和碳充分混合,,然后放入電弧爐中,,加熱到2000℃以上,在高溫下,,碳會(huì)與二氧化硅發(fā)生反應(yīng),,爐膛底部會(huì)留下單質(zhì)硅,而CO變?yōu)闅怏w排出,。 之后再用氧氣對(duì)硅進(jìn)行處理,,把鈣、鋁等雜質(zhì)去除,,得到純度為99%的單質(zhì)硅,。這個(gè)純度遠(yuǎn)達(dá)不到制造芯片的標(biāo)準(zhǔn)。 為了進(jìn)一步提純單質(zhì)硅,,我們需要將其研磨成粉狀,,然后加入氯化氫,放入流化床反應(yīng)器中,,加熱到300℃讓其充分反應(yīng),,生成三氯硅烷,同時(shí)去除鐵,、硼,、磷等雜質(zhì)。 三氯硅烷繼續(xù)加熱到1000℃,,然后與氫氣反應(yīng),,最終形成純度為99.999999%的單質(zhì)硅,這個(gè)級(jí)別的硅就可以用來(lái)制造芯片了,。 但此時(shí)的單質(zhì)硅只能算多晶硅,由數(shù)量眾多的小晶體或者微晶構(gòu)成,,這些小晶體之間的連接處有晶界,,晶界會(huì)導(dǎo)致電子信號(hào)混亂,因此必須更改硅的結(jié)構(gòu),,使其變成單晶硅,。 第二步單晶硅生長(zhǎng)多晶硅變單晶硅的過(guò)程叫做直拉單晶技術(shù),,又稱長(zhǎng)晶。它的工藝流程為:熔化一→縮頸生長(zhǎng)一→放肩生長(zhǎng)一→等徑生長(zhǎng)一→尾部生長(zhǎng),。 熔化:簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是將多晶硅加入石英鍋內(nèi),,加熱到熔點(diǎn)以上(1420℃),整個(gè)工程不能接觸空氣,,因此長(zhǎng)晶爐一般都是抽成真空,,然后加入氬氣。 縮頸生長(zhǎng):將微小的晶粒放入熔化的硅熔體中,,因?yàn)闇囟炔顚?dǎo)致接觸面產(chǎn)生熱應(yīng)力,,形成位錯(cuò),此時(shí)快速提升,,使長(zhǎng)出的籽晶直徑減小到46mm左右,。 而放肩生長(zhǎng)就是將晶體的直徑放大至所需的尺寸,該過(guò)程需要注意降溫,、減小拉速,。 等徑生產(chǎn),就是保持晶體直徑不變,,持續(xù)拉長(zhǎng)的過(guò)程,。 尾部生長(zhǎng)與放肩生長(zhǎng)過(guò)程相反,當(dāng)直徑縮小至一個(gè)點(diǎn)時(shí),,晶棒就會(huì)與硅熔體分離,。整個(gè)長(zhǎng)晶過(guò)程結(jié)束。多晶硅也就變成了單晶硅棒,,也就是我們常說(shuō)的硅錠,。 目前硅錠的直徑大都為150mm、300mm,、450mm三種,,用于制造8英寸、12英寸的晶圓,。 第三步制成晶圓硅晶棒是無(wú)法直接進(jìn)行刻蝕的,,它需要經(jīng)過(guò)切斷、滾磨,、切片,、倒角、拋光,、激光刻等程序后,,才能成為芯片制造的基本材料——“晶圓”。 晶圓的切片方法有傳統(tǒng)的機(jī)械切割(劃片)和激光切割(切片)。 機(jī)械切割是直接將鉆石鋸片作用在晶圓表面,,產(chǎn)生應(yīng)力,,使其分割。切割寬度一般為25-35μm之間,,速度為8-10mm/s,,切割慢,不同規(guī)格需要不同的刀具,。 此外,,機(jī)械切割容易造成晶圓崩邊、破損等現(xiàn)象,。 而旋轉(zhuǎn)砂輪式切割雖然可以降低晶圓破損,,但需要去離子水冷卻,又導(dǎo)致成本較高,。于是發(fā)明了新型激光切割,。 激光切割不會(huì)產(chǎn)生機(jī)械應(yīng)力,大大地保證了晶圓的質(zhì)量,。 此外激光的精確度更高,,可以達(dá)到亞微米級(jí)別,非常適合精密加工,,在強(qiáng)大的脈沖能量下,,硅材料直接汽化產(chǎn)生均勻的溝道,實(shí)現(xiàn)切割,。 激光切割速度更快,,且不需要冷卻水,更不會(huì)出現(xiàn)磨損刀具的問(wèn)題,,可以24小時(shí)不間斷作業(yè),。 激光對(duì)晶圓有更好的兼容性和通用性。 切割后的晶圓再通過(guò)氧化,、化學(xué)氣相沉積等方法進(jìn)行鍍膜,,使表面形成一層SiO2薄膜,并在SiO2薄膜中進(jìn)行N型,、P型摻雜,。 是不是很多網(wǎng)友認(rèn)為晶圓就像一張DVD光盤(pán),其實(shí)并非如此,,晶圓不是標(biāo)準(zhǔn)的圓形,,一般都會(huì)切出一個(gè)邊,當(dāng)作類似三角形的“底”,,成為“有底的圓”,。 芯片制造芯片制造是最復(fù)雜的工藝,,僅僅簡(jiǎn)單地走一遍流程就需要20多道,而真正的要制造一款手機(jī)芯片,,需要幾百道,甚至是幾千道工序,。 這里只講一講主要的工序,。 芯片制造的主要流程為:清洗、預(yù)烘,、涂膠,、前烘、對(duì)準(zhǔn),、曝光,、顯影、豎膜,、刻蝕,、去膠。 1,、清洗 清洗的目的就是去除金屬離子,,確保晶圓無(wú)污染、無(wú)針孔,、無(wú)缺陷,。具體步驟如下: 1、使用強(qiáng)氧化劑清洗液,,使晶圓表面的金屬離子溶解在清洗液中,; 2、用H+去除殘留在晶圓表面的金屬離子,; 3,、用去離子水清洗晶圓,徹底排除清洗液,。 2,、預(yù)烘 晶圓清洗完畢后,要進(jìn)行烘干,,確保無(wú)殘留的清洗液,,更有利于底膠的涂覆,并把晶圓溫度保持在80℃左右,。 3,、涂底膠 為了增強(qiáng)光刻膠與晶圓的粘附性,需要涂一層底膠,,底膠涂覆的時(shí)候需要環(huán)境溫度保持在100℃左右,。 4,、光刻膠涂覆 光刻膠是感光樹(shù)脂、增感劑和溶劑組成的混合液體,,被紫外光,、電子束、X射線照射后,,溶解度會(huì)發(fā)生變化,。 方法:晶圓在1000℃的高溫中進(jìn)行氧化,然后用涂膠機(jī)將光刻膠均勻地涂在晶圓表面,。 5,、前烘 前烘的目的是將光刻膠的溶劑蒸發(fā)掉,使光刻膠均勻地粘附在晶圓表面,,而且烘干后的光刻膠涂層更薄,。 6、對(duì)準(zhǔn) 對(duì)準(zhǔn)操作時(shí),,對(duì)精度要求極高,,這絕對(duì)是對(duì)技術(shù)和設(shè)備的重大考驗(yàn)。 要求對(duì)準(zhǔn)精度為最細(xì)的線寬1/10左右,,同時(shí)精度隨著芯片的制程變化,。例如:5nm工藝的芯片對(duì)準(zhǔn)精度就達(dá)到了1nm。 7,、曝光 曝光就類似于照相機(jī)按快門(mén),,當(dāng)紫外光對(duì)涂有光刻膠的晶圓照射時(shí),光刻膠就發(fā)生了化學(xué)反應(yīng),。 正膠曝光部分在顯影液中被溶解,,沒(méi)有曝光的膠層留下;負(fù)膠的曝光部分在顯影液中不溶解,,而沒(méi)有曝光的膠層卻被溶解掉,。 8、顯影 被曝光后的晶圓放入顯影液中,,感光區(qū)的光刻膠就會(huì)溶解,,這一步完成后,晶圓上的電路圖就顯現(xiàn)出來(lái)了,。 9,、豎模 顯影工序后,形成了無(wú)光刻膠的顯性圖形和有光刻膠的隱性圖形,,這個(gè)圖形組合可以作為下一步的模版,。 10、刻蝕 刻蝕可以選擇性地移除晶圓上的特定部分,,并對(duì)邊緣輪廓修整或表面清潔等,??涛g工藝主要有兩大類:濕法刻蝕和干法刻蝕。 刻蝕對(duì)于器件的電學(xué)性能十分重要,。如果刻蝕過(guò)程中出現(xiàn)失誤,,將造成難以恢復(fù)的硅片報(bào)廢。 11,、去膠 以上工藝全部結(jié)束后,,要把光刻膠去除,采用等離子,、特殊溶劑、等方法,。 這僅僅是一次操作,,實(shí)際上制造芯片時(shí),需要不斷地重復(fù)以上操作,。每加入一個(gè)層級(jí)就要進(jìn)行一次光刻,,最終形成一個(gè)多層的立體結(jié)構(gòu)型的芯片。 為了防止芯片的刮損,,同時(shí)更方面的與其它元器件連接,,還要對(duì)芯片進(jìn)行封裝。 最后封裝手機(jī)芯片制造完成后,,只有指甲蓋大小,,并且非常薄,稍有不慎就會(huì)刮傷損壞,,導(dǎo)致前面做的一系列工作化為烏有,。 而芯片封裝就是給芯片安裝一個(gè)外殼,可以有效地固定,、保護(hù),、密封、連接芯片,。 芯片封裝后的金屬接腳簡(jiǎn)直就是與外界溝通的橋梁,,這些橋梁將芯片與電路板有效的連接起來(lái),讓芯片更安全,、高效的發(fā)揮作用,。 封裝流程主要有:劃片、裝片,、鍵合,、塑封、去飛邊,、電鍍、打印,、切筋成型。 常見(jiàn)的封裝方式有兩種: DIP 封裝,、 BGA 封裝 DIP 封裝: DIP封裝即雙排直立式封裝,,采用此封裝的 IC 芯片在雙排腳下,看起來(lái)會(huì)像條黑色蜈蚣,,讓人印象深刻,,此封裝法為最早采用的 IC 封裝技術(shù)。 優(yōu)點(diǎn):成本低廉,、適合小型且不需要接太多線的芯片,。 缺點(diǎn):散熱效果較差,無(wú)法滿足現(xiàn)行高速芯片的要求,。 BGA 封裝: 以金線將芯片接到金屬接腳,, 優(yōu)點(diǎn):體積小、容納更多的接腳,; 缺點(diǎn):工藝復(fù)雜,、成本較高。 封裝完成后,,再進(jìn)行功能,、電氣、安全,、環(huán)境,、機(jī)械等方面的測(cè)試,就大功告成了,。 寫(xiě)到最后沙子變?yōu)楦叨诵酒且粋€(gè)極其復(fù)雜而精密的過(guò)程,,目前沒(méi)有任何一個(gè)國(guó)家可以單獨(dú)完成這項(xiàng)任務(wù)。 這項(xiàng)過(guò)程不僅需要大量的專業(yè)技術(shù),,也需要很多精密的設(shè)備,,和性能不同的化學(xué)試劑。這對(duì)每個(gè)國(guó)家都是考驗(yàn),。 我國(guó)在該領(lǐng)域起步晚,,底子薄,但發(fā)展速度非???,相信假以時(shí)日,在科研人員的努力下定能獨(dú)立打造出高端芯片,。 我是科技銘程,,歡迎共同討論! |
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