光刻膠所屬的微電子化學(xué)品是電子行業(yè)與化工行業(yè)交叉的領(lǐng)域,，是典型的技術(shù)密集行業(yè),。從事微電子化學(xué)品業(yè)務(wù)需要具備與電子產(chǎn)業(yè)前沿發(fā)展相匹配的關(guān)鍵生產(chǎn)技術(shù)，如混配技術(shù),、分離技術(shù),、純化技術(shù)以及與生產(chǎn)過程相配套的分析檢驗(yàn)技術(shù)、環(huán)境處理與監(jiān)測技術(shù)等,。同時(shí),，

下游電子產(chǎn)業(yè)多樣化的使用場景要求微電子化學(xué)品生產(chǎn)企業(yè)有較強(qiáng)的配套能力，以及時(shí)研發(fā)和改進(jìn)產(chǎn)品工藝來滿足客戶的個(gè)性化需求,。

光刻膠的生產(chǎn)工藝主要過程是將感光材料,、樹脂、溶劑等主要原料在恒溫恒濕 1000 級的黃光區(qū)潔凈房進(jìn)行混合,，在氮?dú)鈿怏w保護(hù)下充分?jǐn)嚢?，使其充分混合形成均相液體，經(jīng)過多次過濾,，并通過中間過程控制和檢驗(yàn),，使其達(dá)到工藝技術(shù)和質(zhì)量要求，后做產(chǎn)品檢驗(yàn),，合格后在氮?dú)鈿怏w保護(hù)下包裝,、打標(biāo)、入庫,。

光刻膠的生產(chǎn)工藝簡要流程

光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù),，質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù)。配方技術(shù)是光刻膠實(shí)現(xiàn)功能的核心,，質(zhì)量控制技術(shù)能夠保證光刻膠性能的穩(wěn)定性而高品質(zhì)的原材料則是光刻膠性能的基礎(chǔ),。

配方技術(shù)：由于光刻膠的下游用戶是IC芯片和FPD面板制造商，不同的客戶會(huì)有不同的應(yīng)用需求,，同一個(gè)客戶也有不同的光刻應(yīng)用需求,。一般一塊半導(dǎo)體芯片在制造過程中需要進(jìn)行10-50道光刻過程,，由于基板不同、分辨率要求不同,、蝕刻方式不同等,，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程,，不同的廠商也會(huì)有不同的要求,。針對以上不同的應(yīng)用需求，光刻膠的品種非常多,，這些差異主要通過調(diào)整光刻膠的配方來實(shí)現(xiàn)。因此,，通過調(diào)整光刻膠的配方,，滿足差異化的應(yīng)用需求，是光刻膠制造商核心的技術(shù),。

質(zhì)量控制技術(shù)：由于用戶對光刻膠的穩(wěn)定性,、一致性要求高，包括不同批次間的一致性,，通常希望對感光靈敏度,、膜厚的一致性保持在較高水平，因此,，光刻膠生產(chǎn)商不僅僅要配臵齊全的測試儀器,，還需要建立一套嚴(yán)格的QA體系以保證產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定。

原材料技術(shù)：光刻膠是一種經(jīng)過嚴(yán)格設(shè)計(jì)的復(fù)雜,、精密的配方產(chǎn)品,，由成膜劑、光敏劑,、溶劑和添加劑等不同性質(zhì)的原料,，通過不同的排列組合，經(jīng)過復(fù)雜,、精密的加工工藝而制成,。因此，光刻膠原材料的品質(zhì)對光刻膠的質(zhì)量起著關(guān)鍵作用,。對于半導(dǎo)體化學(xué)化學(xué)試劑的純度,，際半導(dǎo)體設(shè)備和材料組織（SEMI）制定了國際統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，

SEMI 超凈高純試劑標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體集成電路用試劑材料的純度要求較高,，基本集中在SEMI G3,、G4水平，我國的研發(fā)水平與國際尚存在較大差距,；半導(dǎo)體分立器件對超凈高純試劑純度的要求要低于集成電路,，基本集中在 SEMI G2 級水平,，國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需要；平板顯示和 LED 領(lǐng)域?qū)τ诔瑑舾呒冊噭┑牡燃壱鬄?SEMI G2,、G3 水平,，國內(nèi)企業(yè)的生產(chǎn)技術(shù)能夠滿足大部分的生產(chǎn)需求。

2-溴螺[9H-芴-9,9'-[9H]氧雜蒽]899422-06-1

9,9-二苯基-3-溴芴1547491-70-2

4-溴芴酮4269-17-4

2,7-二溴-9,9-二苯基芴186259-63-2

5,9-二溴-7,7-二苯基-7H-苯并[c]芴854952-90-2

2-溴-9,9-二氟-7-碘-9H-芴1499193-60-0

9,9-二甲基-2-溴芴28320-31-2

9-溴-7,7-二甲基-7H-苯并[c]芴1198396-46-1

2,2,7,7-四溴-9,9-螺二芴128055-74-3

4-溴-9,9-二苯基芴713125-22-5

2-氨基-9,9-二甲基芴108714-73-4

2-溴-9,9-二苯基芴474918-32-6

9-(4-溴苯基)-9-苯基芴937082-81-0

9,9-二苯基-2-氨基芴1268519-74-9

2,7-二溴-9,9-二甲基芴28320-32-3

2-溴-9-芴酮3096-56-8

4-溴-9,9'-螺雙[9H-芴]1161009-88-6

4,5-二氮芴-9-酮50890-67-0

2,7-二溴-9-芴酮14348-75-5

雙酚芴3236-71-3

9,9-雙(4-溴苯基)-9H-芴128406-10-0

N-（3-聯(lián)苯基）-9,，9-二苯基-2-氨基芴1607480-14-7

3-溴芴-9-酮2041-19-2

芴-2-硼酸頻哪醇酯922706-40-9

芴-2-硼酸片吶醇酯569343-09-5

聯(lián)苯螺二芴-2-胺1258514-95-2

2-叔丁基-8-溴-氧芴1438391-33-3

2-溴-9,9-二甲基芴23320-31-2

三亞苯217-59-4

2-溴菲62162-97-4

9-溴菲573-17-1

2-溴苯并[9,10]菲, 2-溴三亞苯19111-87-6

2-(3-溴苯基)苯并菲1313514-53-2

2-氯-1,10-菲啰啉7089-68-1

2,7-二溴菲醌84405-44-7

3,6-二溴-9,10-菲醌CAS:53348-05-3

暈苯191-07-1

硝基菲954-46-1

烯丙基苯300-57-2

2,2'-二溴聯(lián)苯13029-09-9

鄰溴氟苯1072-85-1

1,5-二溴-2,4-雙（溴甲基）苯35510-03-3

聯(lián)苯胺基三聯(lián)苯897921-63-4

4-溴苯甲醛1122-91-4

正丁基鋰109-72-8