潔凈室：空氣懸浮粒子濃度受控的房間,。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入,、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度,、濕度,、壓力等按要求進(jìn)行控制。

現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)：GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范,。

各種條件下微塵狀況：

塵埃粒子直徑的示意圖：

灰塵又是如何產(chǎn)生的呢,？

一般事務(wù)室里拍攝的例子：

熒光燈全部消失的場(chǎng)合：

走路時(shí)候發(fā)塵樣子對(duì)比：

左邊是穿一般的工作服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子,。

拍擊工作服時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子對(duì)比：

左邊是拍擊一般的工作服時(shí)發(fā)塵的樣子,。右邊是拍擊潔凈服時(shí)發(fā)塵的樣子。

潔凈室內(nèi)的事例：

作業(yè)人員通過后,，塵埃附著在玻璃上的樣子,。

浮游粒子：

使用 ParticleEyeDCF 統(tǒng)計(jì)浮游粒子數(shù)量。

紙張的發(fā)塵對(duì)比：

左邊是普通紙,，右邊是無塵紙,。

膠帶和手套的發(fā)塵例子：

左邊是紙芯膠帶的發(fā)塵的樣子，右邊是PVC手套的發(fā)塵,。

電動(dòng)工具的發(fā)塵例子：

左邊是電鉆發(fā)塵的樣子,。右邊是真空泵發(fā)塵的樣子。

吸塵器排氣的例子：

吸塵器各地方排氣泄漏的樣子,。

打噴嚏時(shí)從嘴里泄漏飛沫的樣子：

打噴嚏時(shí)瞬間發(fā)生的飛沫,。

發(fā)汗現(xiàn)象：從胳膊發(fā)汗條件創(chuàng)造。暖通南社制作,。

吸煙的例子：香煙煙霧的粒子,。

運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量：

灰塵是如何去除的呢？

潔凈室的空氣凈化

手持簡易型激光粒子計(jì)數(shù)器：

測(cè)量空氣中微粒的數(shù)量：

限于體量和重量,，手持式激光粒子計(jì)數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm）,，即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3μm,。通常均可采用電池或交流電工作,。

這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國Met One公司生產(chǎn)的HHPC-2型,，有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標(biāo)準(zhǔn)配置,。

由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小,，測(cè)量精度相對(duì)較低，但隨檢測(cè)人員移動(dòng)靈便,，適用于各種潔凈室的監(jiān)測(cè),，判定過濾設(shè)備的效率和密封性,。這類產(chǎn)品可存儲(chǔ)一定量的采樣數(shù)據(jù),，備有下載軟件，均不帶打印裝置,。

高效過濾器：

高效過濾器檢漏：

卸下HEPA的散流板,，對(duì)整個(gè)濾器面、濾器與邊框之間,、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描,。掃描時(shí)采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s,。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行,，線條間應(yīng)重疊。檢測(cè)過程中,，若有報(bào)警聲 （即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%）,，表明有泄漏。泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢,。檢查一個(gè)過濾器約為5min 左右,，在測(cè)試的過程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度,，注意在檢測(cè)過程中應(yīng)帶防護(hù)面罩和防護(hù)眼罩,。

風(fēng)量罩：

測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速：

風(fēng)量罩主要由三個(gè)部分構(gòu)成：風(fēng)量罩體、基座,、PDA構(gòu)成,。

風(fēng)量罩體主要用于采集風(fēng)量，將風(fēng)匯集至基礎(chǔ)上的風(fēng)速均勻器上,。在風(fēng)速均勻器上裝有熱式傳感器,，熱式傳感器將風(fēng)速的變化，再根據(jù)基底的尺寸將風(fēng)量計(jì)算出來.風(fēng)量罩的顯示采用PDA,，大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風(fēng)速和風(fēng)量的數(shù)據(jù),。操作簡單，可以設(shè)置記錄時(shí)間間隔進(jìn)行連續(xù)的參數(shù)記錄,，以便對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,。測(cè)量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲(chǔ)卡上，不會(huì)丟失,，可以通過計(jì)算機(jī)的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機(jī)上以及做進(jìn)一步的應(yīng)用,。

風(fēng)罩的測(cè)量技術(shù)要求：

壓差測(cè)定儀表：

壓差檢測(cè)：普通潔凈室不同級(jí)別逐級(jí)之間,、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴(kuò)散,，其進(jìn)入通路的各個(gè)房間之間的負(fù)壓差需要維持-10～-30Pa,。

根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB19489-2008“實(shí)驗(yàn)室、生物安全通用要求”的規(guī)定：相對(duì)于大氣壓污染區(qū)為-40Pa,，根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB50346-2011“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa,。

在各級(jí)空氣過濾器處，應(yīng)配置微壓差計(jì)并與過濾器前后的靜壓引出管相連,，以便隨時(shí)監(jiān)測(cè)氣流通過空氣過濾器的壓力降,。有些微壓差計(jì)還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報(bào)警標(biāo)定值，以便超過規(guī)定壓差時(shí)輸出報(bào)警信號(hào),。

溫濕度計(jì)：

測(cè)量溫濕度：電子溫濕度計(jì)因其方便,、可靠、便于距離測(cè)量等優(yōu)點(diǎn),，在潔凈室檢測(cè),、監(jiān)測(cè)中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器,，輔以相應(yīng)電學(xué)儀器,，即可測(cè)定空氣的相對(duì)濕度。

電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體,，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成,。

它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器,。

氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長,，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍,。

電容式傳感器：電容式濕度傳感器基本上是一個(gè)電容器,，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放,，隨著水分子的吸附與釋放,，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因?yàn)榻殡娤禂?shù)隨空氣中的相對(duì)濕度變化而變化,，因此,，只要測(cè)定其電容值即可得到被測(cè)空氣的相對(duì)濕度。

照明：淚滴型照明燈具,，嵌入式照明燈具,。

照度計(jì)：

照度測(cè)試：照度測(cè)試宜采用便攜式數(shù)字照度計(jì)。

潔凈室（區(qū)）照度的檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行,；對(duì)新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上,，并在點(diǎn)燃15min后進(jìn)行測(cè)試,。

照度測(cè)試點(diǎn)應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行，一般宜為0.85m,，通道測(cè)試高度宜為0.2m,；測(cè)試點(diǎn)數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個(gè)點(diǎn)計(jì)算，但每個(gè)房間不得少于1點(diǎn),。

靜電檢測(cè)儀：

測(cè)量靜電：該類測(cè)試儀表不直接與帶電體接觸,，而是運(yùn)用靜電感應(yīng)的原理，間接測(cè)試帶電體的靜電電位,。由于這種測(cè)試不是直接同帶電體相接觸,，因此也稱非接觸式測(cè)量,。

靜電感應(yīng)原理：是將測(cè)試探頭靠近帶電體,，利用探頭與被測(cè)帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場(chǎng)測(cè)試帶電體的表面電位。

靜電控制：

ESD控制= Man(人) Machine (機(jī)) Material (料) Method(法) Environment(環(huán)),。

風(fēng)淋室（Airshower）：

風(fēng)淋室設(shè)于無塵室入口處,，具有以下功能：

人員管制,；AIR LOCK 氣鎖功能,，防止交叉污染；

風(fēng)速20-25m/s吹落塵埃帶走功能,，用以吹除人體衣服上及設(shè)備,、物料,、工具的塵埃。

注：正確使用風(fēng)淋室,，能夠減少帶入室內(nèi)的灰塵,。正確聽從風(fēng)淋室播音員的指示進(jìn)行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵,。

傳遞箱 (PASS BOX)：

置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：

做為潔凈室內(nèi)外物品傳遞之緩沖區(qū),，其可防止于傳遞物品時(shí)由于門的開啟而破壞了潔凈室氣流與室壓；

可減少作業(yè)人員走動(dòng)的時(shí)間而防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入,；

進(jìn)出口具有不可同時(shí)開啟的聯(lián)鎖控制,，以達(dá)到防止交叉污染。

潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級(jí)：

潔凈室的管理四大原則：

不將灰塵帶入：

不讓灰塵產(chǎn)生：

正確穿著潔凈服：

正確使用風(fēng)淋室之進(jìn)入潔凈室：

使用風(fēng)淋室注意事項(xiàng)：

正確使用風(fēng)淋室之走出潔凈室流程：

潔凈室禁止攜帶物品舉例：

潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品,、數(shù)碼產(chǎn)品,、食品、個(gè)人物品,、不使用物品,、未清潔物品及工具等。

潔凈室專用物品舉例：

潔凈室必須使用專用物品：

不讓灰塵堆積-潔凈室 (Clean Room)的清掃：

以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的順序,、從上往下進(jìn)行清掃,。

清掃區(qū)域要點(diǎn)圖：

A ：樓承板及天花板上梁清掃：

用無塵布清理灰塵,；

用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓 手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上,。

要點(diǎn)：將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi),、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要?dú)埩粝潞圹E,。

B：樓承板及天花板上設(shè)備機(jī)器清掃

保護(hù)膜全部撕掉,、用無塵布清理掉積塵；

用純水無塵布清掃配管,、管路,、線纜橋架等手夠不到的地方用拖把用純水至少擦拭一次以上。

要點(diǎn)　將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi),、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在配管等上面不要?dú)埩粝潞圹E,。

C：樓承板及天花板清掃

收拾垃圾、用拖把拖?樓承板及天花板上用純水擦拭將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi),、用無塵布沾濕后絞干擦洗：在天花板上面不要?dú)埩粝潞圹E,。

D：樓承板及天花板下設(shè)備機(jī)器清掃

保護(hù)膜全部去除、有電氣機(jī)器接觸的部分用干無塵布擦拭其他配管,、管路,、橋架等用純水擦拭清掃。暖通南社制作,。

E：地板清掃

操作順序是先撕掉保護(hù)膜?收拾垃圾?用清掃機(jī)收拾垃圾,、用無塵拖把清潔?用純水擦拭來進(jìn)行地板清掃(強(qiáng)力的污漬用噴霧劑對(duì)應(yīng))?干燥。

柱子?閥門用水擦拭,、墻壁的鋁蜂巢板用擦拭的方法進(jìn)行清潔,。生產(chǎn)盤由設(shè)置的業(yè)者負(fù)責(zé)任的進(jìn)行干擦拭清掃(柱子的話事前能夠清掃的地方進(jìn)行清掃。

注意：務(wù)必將作業(yè)區(qū)域跟清掃區(qū)域區(qū)分開來,。

清掃事例：

① 從上往下清潔,；

② 從里往外清潔；

③ 朝一個(gè)方向清潔,。

潔凈室清潔工具及清潔產(chǎn)品：

潔凈室必須使用專用清潔工具及清潔產(chǎn)品：

迅速排出灰塵：

潔凈室內(nèi)的注意事項(xiàng)：

1.潔凈室內(nèi)禁止跑動(dòng),，走路時(shí)禁止拖防靜電鞋。

2.禁止閑聊,、吵鬧,，大聲叫人。

3.個(gè)人用品(手機(jī),手表等)及食物禁止搬入潔凈室內(nèi),。

4.搬入資材及易耗品等生產(chǎn)物品時(shí)必須通過風(fēng)淋合格箱進(jìn)行洗潔作業(yè)后再搬入,。

5.化妝或涂指甲油的人禁止出入。

6.防靜電帽，防靜電服外露出頭發(fā),，眼眉,，一般服裝不正確時(shí)立即到更衣室(Smock Room)點(diǎn)檢著裝之后再次通過風(fēng)淋室(Air Shower)后入室。

7.防靜電手套及手指套被破損或受污染時(shí)立即更換新的使用,。

8.作業(yè)時(shí)Clean Room帽(防靜電帽),，防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時(shí)通知組長交換新的使用。

9.開始作業(yè)時(shí),、終了時(shí),，休息時(shí)間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺(tái)及周邊。

10.作業(yè)臺(tái)上禁止放置不必要的什器,。

11.禁止坐著轉(zhuǎn)動(dòng)椅子或向后擺動(dòng),。

12.禁止靠在裝備、墻,，作業(yè)臺(tái)等,。

13.禁止坐在地板上。

14.禁止用手套觸摸皮膚,。

15.交換器及電源等電裝置要注意觸電,。

16.完成作業(yè)之后整理,，整頓作業(yè)臺(tái),、尺工具及周圍后退室。

某光電廠房潔凈室管理：

潔凈室進(jìn)退流程：

人員訓(xùn)練與資格考核：

凡需進(jìn)入無塵室工作人員,，無論本公司或公司外部人士,，除外賓外(客戶、VIP等),。

任何人員皆需經(jīng)潔凈室訓(xùn)練或資格考核及格,，方可進(jìn)出無塵室。

人員需經(jīng)資格考核及格后,，無塵室管制室方可發(fā)放無塵衣,。

外部人員進(jìn)入無塵室之申請(qǐng)：

外部人員進(jìn)入無塵室，由相關(guān)單位代為提出「無塵室申請(qǐng)單」,。

施工廠商可由警衛(wèi)室申請(qǐng)「臨時(shí)工作證」或由相關(guān)單位代為申請(qǐng)「長期工作證」,。

進(jìn)入更衣室與洗塵之管制：

管制室應(yīng)做到監(jiān)控人、事,、物之進(jìn)出需合乎規(guī)定,。

不可化妝，包含口紅,、粉底,、指甲油、眼影,、香水,。

個(gè)人應(yīng)保持良好衛(wèi)生習(xí)慣,，每日洗澡、刮胡子和定期洗頭,，經(jīng)常洗手保持手部甲清潔,。

不可攜帶私人物品，如香煙,、打火機(jī),、食物飲料、化妝品,、手鐲,、耳環(huán)、戒指,。

除無塵室專用文具外,，嚴(yán)禁攜入鉛筆、自來水筆,、橡皮擦,、蠟筆與一般紙張等。

棉質(zhì),、紙盒,、木材等易產(chǎn)生粉塵材料的物品禁止攜入無塵室 。

吸煙30分鐘后方可進(jìn)入無塵室,。

施工廠商需有專人陪同方可進(jìn)入無塵室,。

更衣步驟：

安全衛(wèi)生之管制：

無塵室內(nèi)發(fā)現(xiàn)生產(chǎn)環(huán)境異狀(不明之聲音、煙蒂,、溶劑及味道)應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員,、主管。

毒氣外露警報(bào)聲響時(shí),，應(yīng)迅速呼叫同仁由安全門撤離,，并應(yīng)迅速反應(yīng)至組長或相關(guān)人員、主管,。

嚴(yán)禁切,、削、鉆等工程,，如有必要需先做防塵措施與施工區(qū)域隔離措施,。

如遇緊急狀況，依工安單位規(guī)定之逃生路線,，以最快速度離開無塵室,。

緊急逃生時(shí)可不脫去無塵衣物 。

緊急狀況消除后，靜候通知進(jìn)入無塵室,，并更換干凈之無塵衣物,。

紀(jì)律管理：

Class10,000區(qū)人員至Class100,000區(qū)作業(yè)后，若需重回Class10,000區(qū)者需經(jīng)AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000區(qū),；而穿著Class100,000區(qū)無塵衣人員絕對(duì)禁止至Class10,000區(qū),。

不得坐于地板上，并嚴(yán)禁僅貼機(jī)臺(tái),、墻壁,、工作桌。

面對(duì)Cassette或機(jī)臺(tái)時(shí)禁止講話,、較大之肢體動(dòng)作,，并嚴(yán)禁快速走動(dòng)或追逐(警急警報(bào)響時(shí)除外)，保持慢速走動(dòng) ,。

除新人訓(xùn)練,、公事交接外，應(yīng)避免兩人以上交談,。

Cassette或Tray不可置于地面,，除Cassette待清洗區(qū)外。

禁止勾肩搭背,、觸摸其它人員或兩人同坐一張無塵椅 ,。

無塵室內(nèi)絕對(duì)禁止拍照錄像，如有必要需經(jīng)廠長同意 ,。

除非具合格之人員,，否則嚴(yán)禁操作任何機(jī)臺(tái)。

物品,、器具、化學(xué)品之管制：

應(yīng)避免亂流產(chǎn)生與在機(jī)臺(tái)區(qū)氣流之上方等處放置物品或執(zhí)行其它作業(yè) ,。

化學(xué)藥品應(yīng)置于化學(xué)柜內(nèi),。

化學(xué)藥品應(yīng)有明確之中英文標(biāo)示。

使用過無塵布,、無塵紙一律置于垃圾桶內(nèi),。

無塵室門之管制：

隨手關(guān)門，無塵室之信道門應(yīng)隨時(shí)保持緊閉,。

禁止用推車頂門,。

門有損壞時(shí)應(yīng)立刻通知處理。

電線,、插座,、蛇管之管制：

機(jī)臺(tái)之管線應(yīng)用束線帶束緊，固定于墻角或不妨礙通行之角落。

不使用膠帶固定電線于地上或墻上,。

使用插座時(shí)應(yīng)確定所使用工具之電壓與插座電壓是否相同,。

無論任何電線均不可用腳踩踏。

文件資料之管制：

O/I需置于指定位置,，不可任意放置,，使用后需立即歸回原位 。

O/I內(nèi)容不可徑自書寫,、涂改或做其它記號(hào) ,。

攜入無塵室之影印資料，需放入透明文夾內(nèi),，打印資料應(yīng)用噴墨打印機(jī)打印,。

雙孔或三孔打孔機(jī)禁止放置在生產(chǎn)區(qū)使用。

標(biāo)示標(biāo)語之管制：

不得任意撰寫標(biāo)語張貼,。

張貼標(biāo)示時(shí)應(yīng)依規(guī)定格式,，并經(jīng)制造主管同意。

消火箱滅火器之管制,。

滅火器附近走道應(yīng)保持暢通,。

滅火器位置應(yīng)按規(guī)定放置并有清楚之標(biāo)示牌。

離開無塵室之管制：

除緊急逃生外必須由Gowing Room路徑離開,。

人員進(jìn)入更衣室后,，脫去手套、口罩,、網(wǎng)帽,，并依規(guī)定垃圾桶丟棄。

脫無塵鞋,，將無塵鞋置于自己鞋柜中,。

脫無塵衣，將無塵衣置于自己衣架上(先脫上半身再脫下半身),。

無塵衣掛上衣架后確實(shí)將拉煉拉至領(lǐng)口,，以防無塵衣滑落。

小型器具物品可隨人員辦登記后攜出無塵室,。

大型器具物品需有兩組人員內(nèi)外接應(yīng),，人員則按離開無塵室手續(xù)離開。

設(shè)備保養(yǎng)之管制：

執(zhí)行保養(yǎng)前應(yīng)要求機(jī)臺(tái)LOAD/UNLOAD凈空,。

所有零件器具不可置于地上,，大型器具對(duì)象應(yīng)以塑料布?jí)|妥再置于地上。

無塵衣物清洗與更新之管制：

各區(qū)無塵衣物清洗每周一次,。

原則上避免施工人員自備無塵衣物,，統(tǒng)一由公司提供,。

無塵衣物管理單位應(yīng)將發(fā)放給予公司同仁之無塵衣物加以編號(hào)管理。

無塵衣磨/破損嚴(yán)重或修補(bǔ)超過三次應(yīng)予以丟棄,。

稽核改善與獎(jiǎng)懲：

品保單位應(yīng)定期檢測(cè)無塵室環(huán)境狀況并依追蹤改善情形,。

制造單位或相關(guān)單位應(yīng)全力配合品保單位之稽核行動(dòng)，不可刁難或拒絕配合,。

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