【內(nèi)容提要】MEMS在消費電子產(chǎn)品中的應(yīng)用進一步得到普及,，多傳感集成將成為MEMS發(fā)展的必然趨勢。賽迪顧問研究認(rèn)為,，國內(nèi)MEMS產(chǎn)業(yè)將進入加速發(fā)展階段,，MEMS創(chuàng)新技術(shù)孵化器有助于MEMS中小企業(yè)在新應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品開發(fā)，助力企業(yè)成長與發(fā)展,，幫助形成產(chǎn)業(yè)的集聚效應(yīng),；同時，設(shè)立MEMS產(chǎn)業(yè)投資并購基金一方面可以扶持培育中小型企業(yè),，幫助他們解決資金不足的問題,，進而推動MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。另一方面可以鼓勵國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS本土企業(yè)并購國際龍頭MEMS企業(yè)，幫助我國本土企業(yè)快速提升自身技術(shù)研發(fā)能力,，加速我國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進程,。

【關(guān)鍵詞】MEMS傳感器物聯(lián)網(wǎng)

目前全球MEMS市場規(guī)模已經(jīng)逼近150億美元，隨著MEMS在可穿戴設(shè)備,、VR/AR等消費類產(chǎn)品中應(yīng)用滲透率高速增長的影響,，美國MEMS市場實現(xiàn)平穩(wěn)增長；歐洲MEMS市場也在汽車工業(yè)的帶動下保持活力,；亞太MEMS市場在智能手機,、平板電腦、可穿戴設(shè)備等電子產(chǎn)品產(chǎn)量大幅提高的帶動下,，規(guī)模進一步擴大,。相比之下，中國MEMS產(chǎn)業(yè)尚處于起步階段,，與連續(xù)三年高增長的市場不相匹配,。旺盛的市場需求與相對薄弱的產(chǎn)業(yè)形成反差，具有一定知名度和出貨量的本土MEMS企業(yè)仍然屈指可數(shù),，逐鹿中國市場的主要競爭者仍以跨國企業(yè)為主,。

一、物聯(lián)網(wǎng)熱潮為MEMS市場創(chuàng)造巨大需求

（一）物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展,，傳感器成為發(fā)展核心

目前,，我國物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展與全球同處于起步階段，初步具備了一定的技術(shù),、產(chǎn)業(yè)和應(yīng)用基礎(chǔ),，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢。2016年我國整體物聯(lián)網(wǎng)的市場規(guī)模有望突破9000億元,。近幾年我國物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的綜合增長率達到了30%以上，充分體現(xiàn)了其強勁的發(fā)展勢頭,。物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)中的關(guān)鍵技術(shù)之一就是傳感器技術(shù),，MEMS傳感器已經(jīng)廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)中的各個領(lǐng)域。隨著物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,，各類終端產(chǎn)品的數(shù)量將達到100億以上的規(guī)模,，對MEMS傳感器的市場需求也將迅速增加。2016年,，中國MEMS市場規(guī)模繼續(xù)保持高速增長,，有望突破350億元。中國智能手機,、平板電腦,、可穿戴設(shè)備等MEMS應(yīng)用整機產(chǎn)品產(chǎn)量保持穩(wěn)定增長,，帶動加速傳感器、陀螺儀,、硅麥克風(fēng)等產(chǎn)品需求的增長,。與此同時，上述整機產(chǎn)品中,，加速度傳感器,、陀螺儀、硅麥克風(fēng)等的滲透率進一步提高對MEMS市場規(guī)模的擴大也起到重要作用,。另外,，中國汽車工業(yè)的增長也推動了壓力傳感器、微機械陀螺儀等MEMS主力產(chǎn)品市場的增長,。

（二）消費領(lǐng)域全面普及,，MEMS持續(xù)高速增長

現(xiàn)在，越來越多的MEMS傳感器被應(yīng)用到手機中來提高手機的用戶體驗,。高端手機普遍已經(jīng)裝配有加速度傳感器,、壓力傳感器、陀螺儀,、硅麥克風(fēng),、指紋傳感器、距離傳感器,，環(huán)境光傳感器,、磁傳感器等數(shù)種MEMS產(chǎn)品。在可穿戴產(chǎn)品中MEMS器件的應(yīng)用也越來越廣泛,，如測量運動記錄步數(shù)的加速度傳感器,、進行心率監(jiān)控的心率監(jiān)控傳感器、測量血氧值的血氧傳感器,、感知海拔高度變化的氣壓傳感器等等,。可以說,，慣性傳感器已經(jīng)成為了智能手機,、平板電腦和可穿戴設(shè)備的標(biāo)配，并且其他各種類型的MEMS傳感器在消費電子領(lǐng)域的應(yīng)用正在逐步普及,。目前,，仍在研發(fā)的新產(chǎn)品也都在手機等消費電子領(lǐng)域試水，而在數(shù)碼相機中使用MEMS器件加強防抖功能,，在攝像機,、筆記本電腦等中使用硅麥克風(fēng)已經(jīng)成為常態(tài)，未來將有更多的MEMS器件進駐消費電子產(chǎn)品，而原來只在高端產(chǎn)品出現(xiàn)的地磁場傳感器,、射頻器件等將擴散到中低端產(chǎn)品中去,。

（三）多傳感集成技術(shù)成熟，成為產(chǎn)業(yè)發(fā)展必然趨勢

隨著人們生活應(yīng)用的不斷豐富,，傳感器感測多個物理信號的功能需求也變的越來越多,，多種傳感集成的MEMS器件也應(yīng)運而生。如今,，慣性傳感器已經(jīng)出現(xiàn)了三軸,、六軸、九軸甚至十軸的集成模塊,，將MEMS加速度傳感器,、陀螺儀、磁傳感器等MEMS器件集成在一起,，以滿足生產(chǎn)廠商更小體積,、更低成本的要求，同時給予了用戶更加豐富的用戶體驗,。法國知名市場研究機構(gòu)Yole Développement于2016年3月份提出了未來三大傳感器集成方向：密閉封裝集成傳感器,、開放腔體集成傳感器和光學(xué)窗口集成傳感器。這三大集成方向無論從生產(chǎn)端還是用戶端都在逐漸滿足越來越多新出現(xiàn)的需求,，由此可見,，多傳感集成已經(jīng)成為未來MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的一種必然趨勢。

二,、我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展面臨多方面挑戰(zhàn)

（一）關(guān)鍵技術(shù)需要突破,，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)有待改善

目前我國MEMS傳感器產(chǎn)品在精度和敏感度等性能指標(biāo)上與國外存在巨大差距，應(yīng)用范圍也多局限于傳統(tǒng)領(lǐng)域,。中高檔傳感器產(chǎn)品幾乎100%從國外進口,，90%的芯片依賴國外。從MEMS產(chǎn)業(yè)的設(shè)計,、制造和封裝三個環(huán)節(jié)來看,，國內(nèi)缺乏對MEMS相關(guān)關(guān)鍵技術(shù)的自主研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化能力。我國尚無一套有自主知識產(chǎn)權(quán)的傳感器設(shè)計軟件,，國產(chǎn)傳感器可靠性也遠不如國外同類產(chǎn)品,；MEMS制造能力更為薄弱，國內(nèi)具備一定規(guī)模的設(shè)計企業(yè)基本選擇國外代工廠,，而多數(shù)小型設(shè)計企業(yè)選擇與科研院所的中試線綁定，這就導(dǎo)致產(chǎn)業(yè)化進程相對緩慢,；我國的MEMS封裝尚未形成系列,、標(biāo)準(zhǔn)和統(tǒng)一接口。

由于我國MEMS產(chǎn)業(yè)起步較晚，我國的MEMS傳感器產(chǎn)品多處于技術(shù)相對成熟,、市場格局相對穩(wěn)定的傳統(tǒng)MEMS應(yīng)用領(lǐng)域,，而新興領(lǐng)域的MEMS產(chǎn)品在測量精度、溫度特性,、響應(yīng)時間,、穩(wěn)定性、可靠性等方面與國外差距較大,，尚未形成具有市場競爭力,、較為完善的產(chǎn)品系列，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)略顯單薄,。

（二）缺少代工服務(wù)平臺,，初創(chuàng)企業(yè)發(fā)展艱難

隨著物聯(lián)網(wǎng)時代的逐步到來，傳感器現(xiàn)正被廣泛應(yīng)用于包括各類智能終端,、智能汽車,、生物醫(yī)療等在內(nèi)的眾多新興領(lǐng)域，需求量與日俱增,。但新興領(lǐng)域的MEMS創(chuàng)新應(yīng)用存在一定的局限性,，現(xiàn)在仍然處于市場前景不明朗的初期階段，存在產(chǎn)品量產(chǎn)風(fēng)險大等問題,。因此,，小批量的中試生產(chǎn)現(xiàn)在已經(jīng)成為MEMS產(chǎn)業(yè)界推出新產(chǎn)品的必由之路。

此外,，由于MEMS產(chǎn)品具有“一種產(chǎn)品,，一種工藝”的特點，新產(chǎn)品的開發(fā)必須與配套工藝緊密結(jié)合,，這就要求代工廠的設(shè)備和工藝具有定制化特性,。MEMS產(chǎn)品的另外一個特點是種類多、總量小,，因此小批量的訂單使得大型代工企業(yè)不愿投入過多精力進行技術(shù)的升級改造,，以至于不愿接受MEMS初創(chuàng)企業(yè)的中試需求。然而,，我國的MEMS設(shè)計環(huán)節(jié)現(xiàn)在尚處于起步階段,，相關(guān)企業(yè)正呈現(xiàn)出“小、散,、弱”的局面,，企業(yè)的發(fā)展也在受到技術(shù)、資金,、客戶等諸多因素影響,，企業(yè)研發(fā)的新型產(chǎn)品更是被國內(nèi)MEMS代工服務(wù)平臺的缺乏所制約，導(dǎo)致產(chǎn)品的迭代周期延長，錯過應(yīng)用市場需求強烈的最佳時期,。

三,、結(jié)合發(fā)展要素加速MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展進程

（一）MEMS創(chuàng)新技術(shù)孵化器將推動MEMS產(chǎn)品加速開拓新興市場

孵化器作為一種有效促進新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的工具，已經(jīng)在全世界包括中國的部分城市和區(qū)域得到了廣泛應(yīng)用和推廣,，其重要作用也愈發(fā)突出,。一方面孵化器可以孵育一批具有創(chuàng)新能力的初創(chuàng)企業(yè)，特別是為具備科技創(chuàng)新能力的中小企業(yè)提供了發(fā)展的土壤,，幫助他們將其研究和技術(shù)往商品化,、市場化方向進行轉(zhuǎn)化；同時孵化器還在一定程度上承擔(dān)了保障技術(shù)創(chuàng)新研發(fā),、激發(fā)企業(yè)發(fā)展活力,，加速新興產(chǎn)業(yè)集聚等新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展要素的重任。

我國MEMS市場雖然需求旺盛,，但是MEMS產(chǎn)業(yè)還處于發(fā)展的起步階段,，國內(nèi)產(chǎn)業(yè)規(guī)模相對較小，MEMS企業(yè)也多屬于初創(chuàng)類中小型企業(yè),，存在著分布比較分散,、資金不足、科研能力和吸引人才的能力較弱,、企業(yè)與高校及科研院所合作少等問題,。而MEMS領(lǐng)域的孵化器可以有效解決這些問題，以MEMS中小企業(yè)為服務(wù)對象,，建立一些制造和測試環(huán)節(jié)的公共服務(wù)平臺,，為入駐孵化企業(yè)提供一系列的服務(wù)支持，降低創(chuàng)業(yè)者的創(chuàng)業(yè)風(fēng)險和創(chuàng)業(yè)成本,，提高創(chuàng)業(yè)成功率,，促進MEMS創(chuàng)新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化，尤其是支持MEMS中小企業(yè)在新應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品開發(fā),，助力企業(yè)成長與發(fā)展,，幫助形成產(chǎn)業(yè)的集聚效應(yīng)，加速我國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展進程,。

（二）產(chǎn)業(yè)投資基金成為資本助力MEMS產(chǎn)業(yè)實現(xiàn)跨越的重要途徑

產(chǎn)業(yè)投資基金的成立有利于促進高科技產(chǎn)業(yè)和新興產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。產(chǎn)業(yè)投資基金具有風(fēng)險共擔(dān)、收益共享的優(yōu)勢,，是支持科技發(fā)展事業(yè),，提高產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的科技含量，實現(xiàn)經(jīng)濟集約化發(fā)展的有效途徑,。2014年6月,，1388億元規(guī)模的國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金成立,，用于促進我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。大基金成立2年來已經(jīng)有效決策項目35個,，涉及26家集成電路企業(yè)，完成有效承諾投資額超過600億元,，成功帶動起全國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的積極性,，為我國集成電路產(chǎn)業(yè)營造了良好的發(fā)展環(huán)境。

我國MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)當(dāng)借鑒集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金的相關(guān)經(jīng)驗,，強化政府引導(dǎo),，積極聯(lián)合各界社會資本，設(shè)立MEMS產(chǎn)業(yè)投資基金,。一方面,，與大基金略有區(qū)別的是，鑒于MEMS產(chǎn)業(yè)處于起步階段的發(fā)展特點,，MEMS產(chǎn)業(yè)投資基金應(yīng)該瞄準(zhǔn)初創(chuàng)型項目,，扶持培育中小型企業(yè)健康發(fā)展，幫助他們解決資金不足的問題,，進而推動MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。另一方面，鼓勵國內(nèi)領(lǐng)先的MEMS本土企業(yè)并購國際上在MEMS新興領(lǐng)域具有優(yōu)勢技術(shù)的龍頭企業(yè),，幫助我國本土企業(yè)通過吸收他們的先進技術(shù)來提升在MEMS新興領(lǐng)域的相關(guān)技術(shù)水平,，從而提高我國本土MEMS產(chǎn)品的市場競爭力，實現(xiàn)我國MEMS產(chǎn)業(yè)在新興領(lǐng)域的龍頭地位,。