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光學平臺隔振原理與選型

 半扇窗 2016-12-16
 振動的來源

大多數光學實驗或工業(yè)生產都對系統(tǒng)穩(wěn)定性有較高的要求,。各種因素造成的振動會導致儀器測量結果的不穩(wěn)定性和不準確性,,嚴重干擾生產和實驗的進行。

 

振動來源主要分為來自系統(tǒng)之外的振動和系統(tǒng)內部的振動,。地面固有振動,,工作人員踩踏地板以及開、關門或墻壁碰撞等通過地面?zhèn)鱽淼恼駝泳鶎傧到y(tǒng)之外的振動,,這一類振動需通過光學平臺的隔振腿衰減,;而來自系統(tǒng)內部的振動包括儀器振動、氣流,、冷卻水流等,,則需依靠光學平臺的桌面阻尼來隔絕。

振動基本原理

固有頻率

固有頻率,,顧名思義,,為系統(tǒng)本身發(fā)生的振動的頻率。數值上來看,,固有頻率等于共振頻率,。考慮物塊與彈性懸臂梁組成的系統(tǒng),,固有頻率取決于兩個因素——物塊質量,,以及充當彈簧的彈性懸臂梁的彈性系數。質量減小或彈性系數減小可增大固有頻率;質量增大或懸臂梁彈性系數增大可降低固有頻率,。

 

(左)質量減小可增大固有頻率

(右)質量增大可降低固有頻率

  

(左)彈簧彈性系數減小可增大固有頻率,。

(右)彈簧彈性系數增大(“更柔軟”)可降低固有頻率。

實驗室或廠房內可能存在的振動源,,包括地表的振動(固有頻率 10-5-20 Hz),,大型建筑的振動(1 Hz左右),聲音(20 Hz以上),,儀器設備(10 Hz以上),。用戶應當根據自身情況,選擇合適的光學平臺以對振動有效隔絕,。

阻尼

如果沒有阻尼,,系統(tǒng)將在靜止前振動很長一段時間——至少幾秒鐘。阻尼可消耗系統(tǒng)的機械能,,使衰減更迅速,。例如,當音叉頂端浸入水中時,,振動幾乎立即減弱,。同樣,當手指輕觸共振物塊——懸臂梁系統(tǒng)時,,該阻尼裝置也會迅速的消耗振動能量,。 

理想簡諧振動

一個與理想線性彈簧連接的固定物塊M可產生簡諧振動,如下圖所示,。

彈簧長度變化Δx與應力F的關系可表示為Δx = CF,,其中C是彈簧順應性系數(Compliance),與彈簧彈性系數k成反比:k=1/C,。 

在彈簧——物塊系統(tǒng)中,,當彈簧末端發(fā)生頻率為,最大振幅為|u|的正弦運動時,,物塊M將產生最大振幅為|x|,,頻率同樣為ω的正弦運動。物塊運動|x|的振幅與彈簧末端運動|u|的振幅的穩(wěn)態(tài)比即振動傳遞率T(Transmissibility),,而系統(tǒng)的共振頻率或固有頻率ω0可表示為

 
固有頻率隨物塊質量M或彈簧順應性C的增加(更柔軟)而降低,。振動傳遞率曲線表征于下圖

 

該系統(tǒng)三個突出的特征為:

1)振動頻率遠低于系統(tǒng)固有頻率時,傳遞率T=1,,因此物塊的運動幅度與彈簧另一端相同,。

2)接近固有頻率時,彈簧末端的運動幅度增強,,物塊|x|的運動振幅大于彈簧末端的運動|u|振幅,。對于一個無阻尼系統(tǒng)(ζ=0),,物塊的運動振幅此時在理論上會變得無限大。

3)遠高于系統(tǒng)固有頻率時,,物塊位移|x|與1/ω2成比例地減少,。在這種情況下,系統(tǒng)產生的位移不能傳遞至物體,,也就是說彈簧充當了隔離器,。

光學平臺系統(tǒng)

光學平臺系統(tǒng)包括光學臺面和隔振腿,。光學平臺可放置儀器并對振動進行控制,。光學平臺臺面是隔振系統(tǒng)中重要的一部分,其主要作用是提供一個無相對形變的剛性平臺,,當有振動源傳遞到桌面時,,桌面蜂窩結構和阻尼可有效減弱光學平臺振動變形。

 

隔振腿除了支撐,,主要作用是隔離來自地面的振動,,隔振性能是其最重要指標之一。其他性能還包括:各腿高度獨立調節(jié),,自動水平,,載重能力,高度可選,,有無磁性等等,。

Newport在振動控制和振動隔離的生產設計方面,擁有超過40年的經驗,,已經成為振動控制產品和方案的行業(yè)標準,。我們提供廣泛的寬帶及窄帶調諧阻尼,不同的尺寸和厚度的光學平臺,,可滿足任何性能,、預算的需求。其中SmartTable系列桌面的專利——IQ主動阻尼技術獨一無二,,能最大限度隔離系統(tǒng)內部的振動,。

主動隔振平臺

本次慕尼黑上海光電展期間,我們推出了最新的主動隔振平臺GuardianTM系列,。結合簡約的設計,,先進的隔振技術,為超高分辨率顯微鏡和計量學提供了低頻區(qū)域(0.5-50 Hz)無與倫比的隔振性能,吸引了眾多參觀者的關注,。

 

GuardianTM工作站包括2個主動隔振模塊,,每一個包含3個傳感器和3個衰減器,在六個自由度進行實時補償,。它不僅解決了被動隔振系統(tǒng)在固有頻率處的共振響應問題(上圖藍色曲線),,還提供高達34 dB(98%)額外的隔離(上圖粉紅色曲線),。隔離效率從1 Hz處的10.5 dB(70%),2 Hz處的20 dB(90%),,到5 Hz處已達到30.5 dB(97%),,不但大大優(yōu)于以彈簧為基礎的系統(tǒng),而且優(yōu)于最好的氣浮隔振平臺,。

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