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XPS原始數(shù)據(jù)處理(含分峰擬合)

 Moia藏經(jīng)閣 2016-08-18

前言:


前期內(nèi)容:

1.XPS——一切從原理開(kāi)始

2. XPS譜圖都包括些啥?




在前面兩期分享中,,我們都提到XPS定性分析包括全譜掃描和高分辨譜,,其中全譜掃描不需要經(jīng)過(guò)特別的處理,因此在這里不做過(guò)多介紹,,大家對(duì)照前兩期內(nèi)容應(yīng)該很容易實(shí)現(xiàn)全譜分析,,得到自己想要的信息(主要是樣品所含元素種類(lèi)的鑒定),這里主要介紹高分辨譜的數(shù)據(jù)處理與分析,。


1. XPS高分辨譜可以拿到什么數(shù)據(jù),?

一般而言,,大家在做高分辨譜的時(shí)候,,是期望看到表面某些元素的電子結(jié)構(gòu)信息,,判斷該元素的化學(xué)態(tài)以及所處的化學(xué)環(huán)境等等,,進(jìn)而說(shuō)明樣品的表面結(jié)構(gòu)或其變化,。故此,,XPS的高分辨一定是有針對(duì)性的,,所要測(cè)的元素也是大家很明了的,。

在上一期我們說(shuō)過(guò),,對(duì)于絕緣體或者半導(dǎo)體而言,,具有荷電效應(yīng),因此除了大家想要測(cè)的元素之外,,一般測(cè)試的時(shí)候還需要測(cè)一個(gè)C的高分辨譜,,用于荷電校正。


國(guó)內(nèi)像XPS這樣的大型儀器一般都有專(zhuān)人進(jìn)行測(cè)試,,因此我們所得到的原始數(shù)據(jù)一般為xls文件,。下圖所示為Pb3O4的XPS原始數(shù)據(jù),除了Pb, O之外,,還有C的高分辨譜以及各元素的半定量分析結(jié)果,。


2. 荷電校正

   拿到XPS高分辨譜,第一步是要進(jìn)行荷電校正,,得到準(zhǔn)確的結(jié)合能數(shù)據(jù),。那么如何進(jìn)行校正呢?上一期分享中我們已經(jīng)說(shuō)過(guò),,荷電校正一般將外來(lái)污染碳(284.8 eV)作為基準(zhǔn),。具體如何操作呢?


A. 計(jì)算荷電校正值,。

具體操作:將C1s的數(shù)據(jù)復(fù)制到origin中,,做成曲線圖,,并通過(guò)數(shù)據(jù)讀取工具來(lái)識(shí)別C1s譜中的峰值坐標(biāo)(主要是結(jié)合能)。


以下圖為例,,C1s的結(jié)合能為284.5 eV,,而外來(lái)污染碳的標(biāo)準(zhǔn)值為284.8 eV,因此,荷電校正值為284.8-284.5 eV=0.3 eV,。也就是說(shuō),,此次測(cè)試的這個(gè)樣品,所有元素的結(jié)合能均需要+0.3 eV作為荷電校正從而得到準(zhǔn)確的結(jié)合能值,。




補(bǔ)充說(shuō)明:對(duì)于樣品中本身就含碳的樣品,,采用C1s來(lái)進(jìn)行荷電校正的時(shí)候一定要小心。如果樣品本身導(dǎo)電,,實(shí)際上可以不用荷電校正,。如果樣品本身導(dǎo)電性較差,而樣品中又含碳,,那么需要對(duì)樣品進(jìn)行分峰,,分峰之后找到外來(lái)污染碳的譜峰,將其作為基準(zhǔn)進(jìn)行校正才是準(zhǔn)確的(并不是哪個(gè)峰最強(qiáng)就將其作為基準(zhǔn)),。實(shí)際上,,荷電校正值一般不會(huì)超過(guò)0.5 eV. 如果本身含碳,也可以采用噴金的方法,,以Au4f7/2(84.0 eV)作為基準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行荷電校正,。


B. 對(duì)每一個(gè)高分辨譜進(jìn)行荷電校正

具體操作:將各元素的元素?cái)?shù)據(jù)(結(jié)合能與譜線強(qiáng)度)拷貝到origin中,以結(jié)合能為X軸,,譜線強(qiáng)度為Y軸,,將X軸加上荷電校正值對(duì)其進(jìn)行荷電校正。


下圖所示為具體操作(荷電校正值為上面所算的0.3 eV):


經(jīng)過(guò)這樣的操作之后,,origin的表中所顯示的就是校正過(guò)之后的結(jié)合能與譜峰強(qiáng)度,。


3. 數(shù)據(jù)分析

高分辨譜經(jīng)過(guò)分峰擬合之后,就可以用來(lái)確定元素的化學(xué)態(tài)了,,或者通過(guò)反應(yīng)前后樣品的高分辨譜圖對(duì)比來(lái)得到其表面電子結(jié)構(gòu)的變化信息等等,。相關(guān)內(nèi)容上期已經(jīng)討論過(guò)了,這里不再重復(fù),。今天的重點(diǎn)是XPS高分辨譜的分峰擬合。


其實(shí)我們?cè)诜窒韔rigin教程的時(shí)候,,有提到用origin進(jìn)行數(shù)據(jù)的分峰擬合,,不過(guò)XPS的數(shù)據(jù)處理采用更加專(zhuān)業(yè)的軟件會(huì)更加方便,比如XPSpeak, CASAXPS等,,這里我們簡(jiǎn)單來(lái)分享下XPSpeak 的使用,。


XPSpeaks分峰擬合:

第一步:將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為txt格式

具體操作:將荷電校正過(guò)之后的數(shù)據(jù)拷貝到一個(gè)新建的txt文件中。

關(guān)鍵點(diǎn):第一行要直接以數(shù)據(jù)開(kāi)始,最后一行以數(shù)據(jù)結(jié)束,,不能有空行或其他文字,,否則將無(wú)法導(dǎo)入XPSpeak 4.1軟件中。



第二步:利用XPS peak軟件導(dǎo)入txt文件

具體操作如下圖所示:



第三步:建立基線

具體操作:點(diǎn)擊菜單中Background,在彈出來(lái)的窗口中High BE和Low BE的數(shù)據(jù)是自動(dòng)讀取的,,不需要改變

Background type一般選取Shirley,基線的優(yōu)化主要靠Shirley+Linear的Slope來(lái)實(shí)現(xiàn),,可以手動(dòng)輸入數(shù)值,然后點(diǎn)擊accept就可以看到基線了,,如果覺(jué)得基線不是特別好,,可以通過(guò)改變Slope的值進(jìn)行調(diào)整。


第四步:加峰

具體操作:點(diǎn)擊Add peak會(huì)彈出一個(gè)新窗口,,在Peak Type處選擇s,、p、d,、f等峰類(lèi)型(根據(jù)需要來(lái)選,,不影響分峰),S.O.S選0. 

在Position處輸入希望的峰位,,需固定時(shí)則點(diǎn)fix前小方框,,同法還可選半峰寬(FWHM)、峰面積等,。

設(shè)置好之后,,點(diǎn)擊accept添加該峰。



同樣的方式,,可以添加第二個(gè)峰,。對(duì)于p,d,f軌道而言,譜線都有裂分,,裂分的峰之間存在一定的關(guān)系,,需要特別注意,以下為常見(jiàn)規(guī)則:


A. 對(duì)于p,、d,、f等能級(jí)的次能級(jí)(如p3/2、p1/2,,為簡(jiǎn)便省略/2,,簡(jiǎn)稱為p3、p1)強(qiáng)度比是一定的,,p3:p1=2:1,;d5:d3=3:2,f7:f5=4:3,。在峰擬合過(guò)程中要遵循該規(guī)則,。如Pb4f中同一價(jià)態(tài)的Pb4f7和Pb4f5峰面積比應(yīng)為4:3,。


B.對(duì)于有能級(jí)分裂的能級(jí)(p、d,、f),,分裂的兩個(gè)軌道間的距離也基本上是固定的. 如同一價(jià)態(tài)的W4f7和W4f5之間的距離為2.15eV左右,Si2p3和Si2p1差值為1.1eV左右,,具體化學(xué)狀態(tài)下能級(jí)分裂的兩個(gè)軌道之間的距離會(huì)有不同,。


C.對(duì)于同一元素的裂分軌道而言,其半峰寬應(yīng)該盡量接近一致,。對(duì)于同一儀器及儀器參數(shù),,各數(shù)據(jù)的GL高斯-洛倫茲比應(yīng)保持一致(一般直接采用默認(rèn)值80)。


具體操作:以峰面積為例,,peak 1和peak 0分別對(duì)應(yīng)Pb 4f軌道的兩個(gè)裂分能級(jí)(對(duì)應(yīng)f5和f7),,那么兩者之間的峰面積存在數(shù)量關(guān)系f7:f5=4:3. 如何設(shè)置?點(diǎn)擊Area下的Constraints,

在彈出的窗口中,,勾上Use前的方框,,然后構(gòu)建關(guān)系式Peak 1=Peak 0*0.75. 然后點(diǎn)擊OK設(shè)置完畢。類(lèi)似的Peak1 和Peak 0之間的Position間距也可以設(shè)置,。



同樣的方式,,可以添加peak 2和peak 3(為另一對(duì)峰),設(shè)置好它們之間的數(shù)量關(guān)系等,。然后點(diǎn)擊Optimise All(可以多次點(diǎn)擊進(jìn)行優(yōu)化),,得到一個(gè)初步的分峰結(jié)果。如下圖所示,。



第五步:手動(dòng)修正

在此基礎(chǔ)上,,手動(dòng)調(diào)節(jié)峰的面積,半峰寬等參數(shù),,盡可能讓擬合出來(lái)的數(shù)據(jù)和原始數(shù)據(jù)重合,。在設(shè)置參數(shù)的過(guò)程中,請(qǐng)謹(jǐn)記上面所述A,B,C等分峰規(guī)則,。


具體操作:分別點(diǎn)另一個(gè)窗口中的Rigion Peaks下方的0,、1、2等可看每個(gè)峰的參數(shù),,此時(shí)XPS峰中變紅的為被選中的峰,。在彈出來(lái)的參數(shù)窗口中調(diào)整峰位置,半峰寬,,峰面積等參數(shù),,然后點(diǎn)擊accept。反復(fù)調(diào)節(jié),,盡可能讓擬合出來(lái)的數(shù)據(jù)和原始數(shù)據(jù)重合,。


第六步:擬合數(shù)據(jù)保存與導(dǎo)出

擬合完畢之后,點(diǎn)擊XPS peak processing 中的Save XPS,,將擬合結(jié)果存儲(chǔ)為.xps文件,。存儲(chǔ)之后,下回要繼續(xù)處理時(shí),,只需要點(diǎn)Open XPS就可以打開(kāi)這副圖繼續(xù)進(jìn)行處理了,。


當(dāng)擬合結(jié)果滿意了之后,需要將數(shù)據(jù)導(dǎo)出成txt文件,,以方便在origin中作圖,。


具體操作:在Region 1中,Data-->Export(Spectrum),,導(dǎo)出為.dat文件,。該文件可以直接拖動(dòng)到origin中,用origin打開(kāi),。接下來(lái)就是origin作圖了,,這里就不重復(fù)了。



至此,,XPS原始數(shù)據(jù)的處理就差不多了,。




研之成理征稿要求:

 1. 對(duì)某一篇或者幾篇文獻(xiàn)的解讀,主要突出自己的理解,,可以參考簡(jiǎn)單背后的不簡(jiǎn)單——淺談鄭南峰老師等人的Science, 一篇關(guān)于納米晶生長(zhǎng)的力作;

2. 對(duì)某位大牛課題組的研究?jī)?nèi)容進(jìn)行分類(lèi)整理總結(jié),,可以參考催化大師-K. P. de jong;

3. 對(duì)某個(gè)研究領(lǐng)域進(jìn)行評(píng)述,,或者對(duì)該領(lǐng)域內(nèi)有哪些著名課題組進(jìn)行總結(jié)整理,,可以參考“以一當(dāng)十”之神奇的單原子催化, 群雄逐鹿之電催化析氧(一)

4. 對(duì)某個(gè)儀器表征手段進(jìn)行分享總結(jié),,突出自己對(duì)于該儀器的理解,,從原理到應(yīng)用跟大家分享整個(gè)表征手段,讓大家真正了解這個(gè)表征手段,,可以參考XRD系列和TEM系列:XRD從原始數(shù)據(jù)到圖,TEM中如何正確制樣和選擇載網(wǎng)等,;

5. 對(duì)某類(lèi)基礎(chǔ)知識(shí)進(jìn)行分享,比如多相催化的基本過(guò)程,,要結(jié)合實(shí)際科研突出自身理解,;

6. 針對(duì)某款軟件進(jìn)行系統(tǒng)分享,從入門(mén)到精通,,緊密結(jié)合科研實(shí)際需求,,可以參考Origin系列: 作圖技巧無(wú)限,數(shù)據(jù)分析有道——數(shù)據(jù)擬合等,;

7. 分享自己的科研心得,,可以參考:我所理解的實(shí)驗(yàn)室生存法則;

8. 分享論文寫(xiě)作等相關(guān)方面的內(nèi)容,,可以參考:題好一半文——Science, Nature的論文標(biāo)題是什么樣子的?

9. 在公眾號(hào)里面宣傳課題組的研究工作,,讓更多的人能夠了解課題組的發(fā)展情況,,可以參考南京理工大學(xué)曾海波老師課題組:當(dāng)量子點(diǎn)顯示與照明遇上鈣鈦礦。

10. 其他科研相關(guān)的原創(chuàng)內(nèi)容,。


體裁:word或者PPT都可以,!


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