真空計的校準(zhǔn)
如今,，真空在我們?nèi)粘Ｉ钪斜粡V泛應(yīng)用于高端產(chǎn)品的生產(chǎn)及制造,，并且扮演著重要角色。例如：在科研,，工業(yè)流程，手機芯片,，硬盤,，太陽能電池，塑料干燥或者食品真空包裝等領(lǐng)域。
在當(dāng)今的生產(chǎn)活動中,，我們對真空度測量的精確性,、標(biāo)準(zhǔn)化、可靠性和重復(fù)性的要求是至關(guān)重要的,。當(dāng)我們在進(jìn)行測量的時候,，高精度又是關(guān)鍵中的關(guān)鍵：
精度的高低會直接影響產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量，科學(xué)實驗的準(zhǔn)確性和設(shè)備使用的可靠性,。
要確保真空計使用時的高可靠性,，就必須經(jīng)常對它進(jìn)行校準(zhǔn)或標(biāo)定。而根據(jù)每個不同應(yīng)用的具體要求,，這些校準(zhǔn)工作必須符合國內(nèi)或相關(guān)的國際標(biāo)準(zhǔn),。
經(jīng)濟、高效,、精準(zhǔn),、國際化的機構(gòu)校準(zhǔn)及標(biāo)定替代解決方案
生產(chǎn)活動中，真空計往往需要對外專業(yè)機構(gòu)進(jìn)行校準(zhǔn)和標(biāo)定,。然而在對量大或校準(zhǔn)間隔要求短的條件下,，使用經(jīng)濟的測量儀器進(jìn)行現(xiàn)場校準(zhǔn)能大大節(jié)約時間和費用。
普發(fā)真空緊湊型的校準(zhǔn)泵組就能夠組建起這樣一個系統(tǒng),。真空技術(shù)網(wǎng)（http://www./）認(rèn)為這個易于使用的便攜式系統(tǒng)是專為同時在線進(jìn)行多個儀器檢測而量身定做的,。其系統(tǒng)具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標(biāo)準(zhǔn)的特點,。
圖1：HiCube校準(zhǔn)專用泵組
校準(zhǔn)要求
在進(jìn)行校準(zhǔn)前,，必須滿足如下條件：
■ 系統(tǒng)極限壓力ρE 必須超過最小校準(zhǔn)壓力ρmin的50倍
(ρE ≤ ρmin/50)
■ 環(huán)境溫度必須恒定 (± 1°C)
■ 校準(zhǔn)系統(tǒng)必須熱穩(wěn)定
■ 標(biāo)準(zhǔn)真空計和其他真空計在測量時真空度必須穩(wěn)定
普發(fā)真空解決方案
普發(fā)真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準(zhǔn),。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如,，HiCube 80 Eco)和一個采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。
渦輪分子泵組由一個帶Holweck級的(HiPace 80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP 015-2)組成,。這款泵組的抽速最高可達(dá)67 l/s并且最終真空度可達(dá)1 ? 10-7 hPa,。
不銹鋼腔體上有六個真空計連接口。如果客戶要求,，兩個參考標(biāo)準(zhǔn)(1 hPa和1,000h Pa)和一個冷陰極真空計能夠預(yù)裝在這套系統(tǒng)中,。比如，壓力控制和歸零調(diào)整的預(yù)裝,。所有的真空計都進(jìn)行了預(yù)校準(zhǔn)并且符合德國認(rèn)證機構(gòu)(German: Deutsche Akkreditierungsstelle –DAkkS)的標(biāo)準(zhǔn),。這就使得校準(zhǔn)真空計可以被有效的實施并且符合法律和規(guī)范要求，并且這個標(biāo)準(zhǔn)是一個國際化上認(rèn)可的標(biāo)準(zhǔn),。
此外,，最多四臺真空計能安裝在不銹鋼腔體上同時進(jìn)行校準(zhǔn),。裝置內(nèi)要求6臺相接的真空計要求的真空度相同，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www./）認(rèn)為這就需要在校準(zhǔn)的時候,，用獨立的進(jìn)氣閥來設(shè)定并且控制真空度,。
圖3：HiPace渦輪分子泵橫截面
系統(tǒng)配件一覽
渦輪分子泵
渦輪分子泵(英簡: turbopumps, TMP)是由多級的，渦輪狀帶葉片的轉(zhuǎn)子通過一個無刷直流電機驅(qū)動復(fù)合軸承構(gòu)成,。在轉(zhuǎn)子葉片之間,，有一個定子葉片，定子葉片結(jié)構(gòu)與轉(zhuǎn)子相似,，但與轉(zhuǎn)子成鏡像安裝,。
分子泵的原理由是利用氣體分子和高速運動的轉(zhuǎn)子互相碰撞而將氣體分子帶出系統(tǒng)外。氣體分子碰撞到轉(zhuǎn)子的表面反彈后,，將會在其原來的熱分子速度之外獲得一部分與轉(zhuǎn)子表面運動方向平行的額外速度,。為了避免分子間的干擾而使運動速度下降，平均自由程的距離必須大于葉片之間的距離,。因此,，真空技術(shù)網(wǎng)（http://www./）認(rèn)為就需要一個前級泵連接在分子泵的上游以確保分子泵內(nèi)粒子密度足夠的小。
普發(fā)真空渦輪分子泵出色的表現(xiàn)是因為：
■ 氣體壓縮高,，氣流量大
■ 前級壓力高
■ 整體式驅(qū)動單元和冷卻系統(tǒng)
■ 高抽速：10 - 2,000 l/s
隔膜泵
隔膜泵由傳動部分和隔膜缸頭兩大部分組成,。通過進(jìn)氣閥把氣體引入腔室然后傳遞到出氣閥排出氣體。
在此應(yīng)用條件下,，泵的最終壓力可達(dá)70 hPa,，抽速最高可接近10 m3/h。
普發(fā)真空隔膜泵的優(yōu)勢：
■ 干泵無油
■ 膜片經(jīng)久耐用
■ 震動低,，噪音輕
■ 高穩(wěn)定性
■ 易于維護
普發(fā)真空的校準(zhǔn)泵組廣泛應(yīng)用于各種生產(chǎn)過程中,，并提供可靠和高質(zhì)量的真空度測量。
普發(fā)真空校準(zhǔn)泵組產(chǎn)品優(yōu)勢一覽：
■ 比外部校準(zhǔn)價格低
■ 符合國內(nèi)和國際標(biāo)準(zhǔn)
■ 便攜式在線校準(zhǔn)
■ 可多臺設(shè)備同步校準(zhǔn)
1) 平均自由程是一個氣體分子在連續(xù)兩次碰撞之間可能通過的各段自由程的平均值,。
