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6月20日,，國內(nèi)首條、世界第二條的8英寸IGBT（絕緣柵雙極型晶體管）專業(yè)芯片生產(chǎn)線在中國南車株洲電力機車研究所有限公司（以下簡稱南車株洲所）建成,，中國首片8英寸IGBT芯片同時下線,。這條生產(chǎn)線總投資15億元，首期將實現(xiàn)年產(chǎn)12萬片8英寸IGBT芯片,，配套生產(chǎn)100萬只IGBT模塊,，真正實現(xiàn)IGBT的國產(chǎn)化。它的投產(chǎn)將打破國外公司在高端IGBT芯片技術(shù)上的壟斷,，對于保障國民經(jīng)濟安全、推動兩型社會建設(shè)具有重大戰(zhàn)略意義,。 為實現(xiàn)我國在高端IGBT芯片產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)上的突破,，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”重點支持南車株洲所牽頭開展了攻關(guān)，湖南省科技廳將該項目列入“省承接國家科技重大專項成果轉(zhuǎn)化專項”和“省戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)科技攻關(guān)與重大科技成果轉(zhuǎn)化項目”重點項目,，對南車株洲所進行了連續(xù)支持,。經(jīng)過多年的研發(fā)，南車株洲所攻克了30多項重大難題,，終于掌握了IGBT產(chǎn)品設(shè)計,、芯片制造、模塊封裝測試,、可靠性試驗,、系統(tǒng)應(yīng)用等成套技術(shù)，成功研制出從650伏到6500伏高功率密度IGBT芯片及模塊,，形成了IGBT的完整產(chǎn)業(yè)鏈,。其產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)實力都達(dá)到了國際領(lǐng)先水平，特別是在溝槽技術(shù),、高能離子注入,、超薄片加工、激光退火與銅金屬化工藝等關(guān)鍵技術(shù)的運用方面都走在國際前列,。 這條8英寸IGBT專業(yè)芯片線全面建成投產(chǎn)后,，年產(chǎn)值預(yù)計可突破20億元。同時,，按照全球IGBT技術(shù)發(fā)展趨勢,，南車株洲所正在研發(fā)第五代,、預(yù)研第六代IGBT技術(shù)，以持續(xù)確保我國在IGBT產(chǎn)業(yè)上的技術(shù)支撐與核心競爭力,。
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來自： 青春藤 > 《科學(xué)探索》
